勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備。膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。勻膠機主要用于晶片涂光刻膠，有自動、手動和半自動三種工作方式。勻膠機有一個或多個滴膠系統(tǒng)，可涂不同品種的光刻膠。勻膠機滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現(xiàn)了多點滴膠或膠口移動式滴膠。 精品推薦
品牌： 浙江揚清 型號： EZ4-S-PP 產(chǎn)地：杭州 供應(yīng)商：浙江揚清芯片技術(shù)有限公司

TOP1：功能清晰，易操作 文本顯示器，中英文可選；清晰的功能按鍵；手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出。 TOP2：材料先進(jìn)，耐腐蝕 易清潔注塑內(nèi)腔；HDPE材料真空吸盤；耐溶劑PC涂層蓋。 TOP3：設(shè)計合理，性能穩(wěn)定 75W直流無刷電機，單片機控制；不易進(jìn)膠堵膠設(shè)計；旋涂內(nèi)腔易拆卸清理更換。

品牌： 浙江揚清 型號： AC200-S-PP 產(chǎn)地：杭州 供應(yīng)商：浙江揚清芯片技術(shù)有限公司

【優(yōu)勢一】伺服電機，功能強大 高精度伺服控制系統(tǒng)，轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)至1rpm；點內(nèi)置100組可編輯勻膠程序，提高工藝重復(fù)性；真空負(fù)壓可調(diào)，減少薄片變形，不易破碎；全新套盤更換設(shè)計，更方便，更可靠。 【優(yōu)勢二】全新設(shè)計，旋涂更為均勻穩(wěn)定 PP外殼設(shè)計，HDPE超高分子材料內(nèi)腔；大尺寸套盤式載物盤，旋轉(zhuǎn)更穩(wěn)定；內(nèi)腔深度增加45%，減少腔內(nèi)氣流干擾；增設(shè)獨立下抽風(fēng)口，便于控制腔內(nèi)氣流。 【優(yōu)勢三】人性化操作，使用靈活，安全可靠 7寸觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作；數(shù)顯壓力表實時顯示負(fù)壓，反應(yīng)靈敏，防止飛片；防進(jìn)膠設(shè)計，避免光刻膠等污染物進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部；互鎖感應(yīng)傳感器，確保蓋子安全閉合；加強式開合蓋采用嵌扣設(shè)計，更牢靠，更安全。

品牌： 美國勞瑞爾 型號： WS-650-23NPPB 產(chǎn)地：美國 供應(yīng)商：邁可諾技術(shù)有限公司

勻膠機(英文名：Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 詳細(xì)介紹：勻膠機(英文名：Spin Coater Spin Processor) 行業(yè)俗稱：勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機一、產(chǎn)品概述：勻膠機WS-650Mz-23NPPB適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S 型勻膠機的特點。二、勻膠機工作原理： 勻膠機WS-650Mz-23NPPB（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。三、勻膠機WS-650Mz-23NPPB主要性能指標(biāo)： 1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤）；3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）；5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 ±1%；6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度： 0.2rpm，重復(fù)性 0.2rpm；7、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；8、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；9、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點精度小于0.006%。10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲；13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；14、原裝進(jìn)口水平測試儀； 可選配置：IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計，帶遠(yuǎn)程控制；OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計，帶遠(yuǎn)程控制；UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機械裝置；

品牌： 美國勞瑞爾 型號： EDC-650Mz-8NPP 產(chǎn)地：美國 供應(yīng)商：邁可諾技術(shù)有限公司

勻膠顯影機(英文名：Developing)產(chǎn)地：美國 一、產(chǎn)品概述： 650型勻膠顯影機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面顯影。一般勻膠顯影機由動力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成。二、勻膠顯影機工作原理：顯影系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮氣）等最后的處理步驟。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在完全干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。勻膠顯影機還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。三、勻膠顯影機主要性能指標(biāo)： 1、腔體尺寸：12.5英寸 (318 毫米)；2、Wafer 芯片：直徑8英寸（200毫米）的晶圓片或者7x7英寸（175毫米）的方片；3、非真空托盤：聚丙烯材質(zhì)非真空托盤，可承載2、3英寸及200毫米的晶圓片-并帶有背面清洗功能；3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm，5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 ±1%；6、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；7、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點精度小于0.006%；8、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；9、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]10、腔體開關(guān)蓋板：透明ECTFE材質(zhì)圓頂蓋板，便于實時進(jìn)行可視化操作；11、腔體材質(zhì)說明：用聚丙烯材質(zhì)制成的帶有聯(lián)動傳感觸點的合瓣式艙體；12、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；13、配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲；四、適用工藝（包括但不限于下述濕法制程）光刻膠顯影（KrF/ArF）SU8厚膠顯影顯影后清洗PostCMP清洗光罩去膠清洗光刻膠去除金屬Lift-off處理刻蝕微刻蝕處理

品牌： 德國SPS-保羅 型號： POLOS200 產(chǎn)地：德國 供應(yīng)商：邁可諾技術(shù)有限公司

一、產(chǎn)品概述： POLOS系列勻膠顯影機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面顯影。一般勻膠顯影機由動力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成。二、勻膠顯影機工作原理：POLOS系列顯影系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮氣）等最后的處理步驟。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在完全干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。勻膠顯影機還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。三、勻膠顯影機主要性能指標(biāo)：1、腔體尺寸：302毫米；2、Wafer 芯片：260毫米的晶圓片或者6x6英寸（125毫米）的方片；3、非真空托盤：聚丙烯材質(zhì)非真空托盤，可承載2、3英寸及260毫米的晶圓片-并帶有背面清洗功能；3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm， 5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 ±1%；6、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；7、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點精度小于0.006%；8、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；9、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！]10、腔體開關(guān)蓋板：透明ECTFE材質(zhì)圓頂蓋板，便于實時進(jìn)行可視化操作；11、腔體材質(zhì)說明：用聚丙烯材質(zhì)制成的帶有聯(lián)動傳感觸點的合瓣式艙體；12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲；

品牌： 德國SPS-保羅 型號： SPIN150i 產(chǎn)地：德國 供應(yīng)商：邁可諾技術(shù)有限公司

一、產(chǎn)品概述： SPIN150i型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是SPIN150i型勻膠機的特點。二、勻膠機工作原理： 勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。三、勻膠機主要性能指標(biāo)：1、腔體直徑：8英寸 (202 毫米)；2、Wafer芯片尺寸：10-160mm直徑的材料，4英寸方片；3、轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**，±1rpm steps；4、最大加速度：30000RPM/S；5、轉(zhuǎn)速精度: ±0.1rpm；6、程序段數(shù)：無限制；7、操作步數(shù)：無限制；8、旋轉(zhuǎn)時間：無限制*，±0.1 Second steps；9、旋轉(zhuǎn)方向：順時針，逆時針，交換擺動；10、擴展接口：1個USB接口；11、馬達(dá)保護(hù)：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm（可關(guān)閉）；12、排廢連接：1” M-NPT；13、觸屏控制：全彩觸摸屏控制界面；產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字：勻膠機旋涂儀鍍膜機勻膠臺甩膠機

品牌： 美國勞瑞爾 型號： WS-650MZ-23NPPB 產(chǎn)地：美國 供應(yīng)商：武漢邁可諾科技有限公司

MYCRO邁可諾公司提供美國原裝進(jìn)口勻膠旋涂儀，請您放心選購！ 美國LAURELL勻膠機濕法臺授權(quán)MYCRO邁可諾技術(shù)為中國獨家代理商 MYCRO美國原裝進(jìn)口的旋涂儀，自1985年開始，我們便為提供化工半導(dǎo)體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉(zhuǎn)涂敷系統(tǒng)，目前客戶已遍布全球。

品牌： 美國勞瑞爾 型號： WS-650MZ-8NPPB 產(chǎn)地：美國 供應(yīng)商：武漢邁可諾科技有限公司

美國LAURELL勻膠機濕法臺授權(quán)MYCRO邁可諾技術(shù)為中國獨家代理商 MYCRO美國原裝進(jìn)口的旋涂儀，自1985年開始，我們便為提供化工半導(dǎo)體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉(zhuǎn)涂敷系統(tǒng)，目前客戶已遍布全球。

品牌： 美國勞瑞爾 型號： WS65023N 產(chǎn)地：美國 供應(yīng)商：武漢邁可諾科技有限公司

MYCRO美國原裝進(jìn)口的旋涂儀，自1985年開始，我們便為提供化工半導(dǎo)體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉(zhuǎn)涂敷系統(tǒng)，目前客戶已遍布全球。

品牌： 美國勞瑞爾 型號： OSSILA 產(chǎn)地：英國 供應(yīng)商：武漢邁可諾科技有限公司

英國Ossila公司提供的勻膠機，方便實用，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，占地空間小，為實驗室提供了理想的解決方案！ 英國Ossila公司旋轉(zhuǎn)涂布機，采用創(chuàng)新專利設(shè)計的旋涂盤，無需真空泵或充氮氣，就能達(dá)到很好的旋涂效果，操作簡單方便，旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。 Ossila旋涂機內(nèi)置調(diào)整水平裝置，最大限度的保證旋涂均勻。

儀器網(wǎng)勻膠機產(chǎn)品導(dǎo)購專場為您提供勻膠機功能原理、規(guī)格型號、性能參數(shù)、產(chǎn)品價格、詳細(xì)產(chǎn)品圖片以及廠商聯(lián)系方式等實用信息，您可以通過設(shè)置不同查詢條件，選擇滿足您實際需求的勻膠機產(chǎn)品，同時勻膠機產(chǎn)品導(dǎo)購專場還為您提供精品優(yōu)選勻膠機產(chǎn)品和勻膠機相關(guān)技術(shù)資料、解決方案、招標(biāo)采購等綜合信息。