金屬加工技術(shù),集成電路工業(yè)檢測(cè)用工業(yè)顯微鏡制造廠(chǎng)

  硅加工技術(shù)的日新月異是使老產(chǎn)品淘汰的一個(gè)重要因素。
在一種硅加工設(shè)備生存期間，必須預(yù)見(jiàn)并迎接技術(shù)上的新的改
進(jìn)。
  為了適當(dāng)?shù)亟鉀Q這一問(wèn)題，必須將硅技術(shù)分解成不同的部
分，然后再匯總起來(lái)作為一個(gè)整體來(lái)考慮，看看技術(shù)的哪些方面
對(duì)某一應(yīng)用場(chǎng)合有不足之處。

  巨額的硅生意連同業(yè)已獲得的先進(jìn)工藝和設(shè)備表明，硅將
繼續(xù)成為大部分集成電路器件的“頂梁柱”。
  生產(chǎn)復(fù)雜器件的亞微米技術(shù)的進(jìn)展是令人注目的一個(gè)領(lǐng)
域，用可見(jiàn)光或接近于可見(jiàn)光的曝光設(shè)備是無(wú)法制造出這類(lèi)器
件的圖形尺寸的。亞微米技術(shù)是以使用電子束和X射線(xiàn)為基
礎(chǔ)的。

亞微米技術(shù)對(duì)集成電路工業(yè)的影響比MOS對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)
的影響更大。正如MOS使幾家新公司進(jìn)入市場(chǎng)一樣，亞微米
技術(shù)將使半導(dǎo)體工業(yè)界內(nèi)各供應(yīng)廠(chǎng)家的地位重新作重大的調(diào)
整。對(duì)新穎半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的需求也將驅(qū)使新的或現(xiàn)有的生產(chǎn)
設(shè)備供應(yīng)廠(chǎng)家大大改進(jìn)它們的生產(chǎn)線(xiàn)。

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