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產(chǎn)品快速導(dǎo)航

應(yīng)用解決方案激光器調(diào)制器光學(xué)/激光測量設(shè)備光譜儀光學(xué)部件光纖/光纖器件晶體探測器/光子計數(shù)器專用工業(yè)部件專用實驗設(shè)備激光加工系統(tǒng)實驗室電子產(chǎn)品相機(jī)

產(chǎn)品信息

快速反射鏡

所屬類別： ? 應(yīng)用解決方案 ? 激光穩(wěn)定系統(tǒng)（光束指向/頻率/功率）
所屬品牌：德國TEM Messtechnik GmbH公司

產(chǎn)品簡介

微步進(jìn)電機(jī)與PZT壓電陶瓷驅(qū)動的超大掃描角度的復(fù)合軸快速反射鏡。

德國TEM開發(fā)的是采用微步進(jìn)電機(jī)與PZT壓電陶瓷相結(jié)合的復(fù)合驅(qū)動結(jié)構(gòu)，不僅擁有電機(jī)驅(qū)動的大量程的特點，又集成了PZT壓電陶瓷驅(qū)動的高速高分辨率的特點，極大拓展了的適用范圍與使用壽命。

關(guān)鍵詞：，快速控制反射鏡，F(xiàn)SM，快速傾斜鏡，快速傾斜反射鏡，PZT驅(qū)動快速控制反射鏡，壓電陶瓷驅(qū)動

  

德國TEM開發(fā)的是采用微步進(jìn)電機(jī)與PZT壓電陶瓷相結(jié)合的復(fù)合驅(qū)動結(jié)構(gòu)，不僅擁有電機(jī)驅(qū)動的大量程的特點，又集成了PZT壓電陶瓷驅(qū)動的高速高分辨率的特點，極大拓展了的適用范圍與使用壽命。

產(chǎn)品特點：

反饋精度: 1 μm, 1 μrad (zui低可達(dá) 10-100 nm)超大掃描范圍: 18°高速度:伺服頻寬超過5 kHzPZT驅(qū)動制動器和機(jī)械裝置多種組合全計算機(jī)控制 (USB, 串口, 局域網(wǎng)) ，完全獨立操作

類別：

Aligna 60/40:微步進(jìn)電機(jī)基座60x60 mm/40x40 mm

兩個極微等步細(xì)分線制動器手動調(diào)節(jié)滾花旋鈕雙軸引用光編碼器多種反射鏡或其他組件安裝方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

Aligna MoPiA 60/40:微步進(jìn)電機(jī)+PZT驅(qū)動基座60x60 mm/40x40 mm

兩個極微等步細(xì)分線制動器手動調(diào)節(jié)滾花旋鈕PZT壓電掃描器雙軸引用光編碼器多種反射鏡或其他組件安裝方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

部分應(yīng)用客戶：

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