亚洲欧美日本韩国_久久久久亚洲AV片无码V_亚洲AV片不卡无码一_H漫全彩纯肉无码网站

 
 
當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 新聞資訊 » 廠商 » 正文

NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)_帶等離子刻蝕的RIE刻蝕機(jī),等離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕一體機(jī),進(jìn)口雙模式刻蝕機(jī),帶RIE的等離子刻蝕機(jī),_供應(yīng)信息_91化工儀器網(wǎng)

分享到:
放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-02  來(lái)源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):1058
核心提示:NRE-4000RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)概述:NRE-4000是一款獨(dú)立式PE刻蝕RIE刻蝕一體機(jī),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個(gè)端口:一個(gè)帶有2"的視窗,另一個(gè)空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持zui大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計(jì),并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包
NRE-4000RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)概述:NRE-4000是一款獨(dú)立式PE刻蝕RIE刻蝕一體機(jī),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個(gè)端口:一個(gè)帶有2"的視窗,另一個(gè)空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持zui大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計(jì),并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個(gè)節(jié)流閥,一個(gè)250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過(guò)濾器,以及一個(gè)10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過(guò)600W,13.56MHz的電源和自動(dòng)調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對(duì)于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)是基于PC控制的全自動(dòng)系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時(shí)顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時(shí)顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級(jí)訪問(wèn)功能:操作員級(jí)、工程師級(jí)、工藝人員級(jí),以及維護(hù)人員級(jí).允許半自動(dòng)模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動(dòng)執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)?;谌詣?dòng)的控制,該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。

產(chǎn)品特點(diǎn):

鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體不銹鋼立柜支持各向同性刻蝕和各向異性刻蝕兩種模式能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬典型的硅刻蝕速率,400 ?/min高達(dá)12"的陽(yáng)極氧化鋁RF樣品臺(tái)水冷及加熱的RF樣品臺(tái)大的自偏壓淋浴頭氣流分布極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級(jí)別渦輪分子泵NRE-3000zui多支持4個(gè)MFC,NRE-4000zui多支持8個(gè)MFC無(wú)繞曲氣體管路自動(dòng)下游壓力控制雙刻蝕能力:RIE以及PE刻蝕(可選)終點(diǎn)監(jiān)測(cè)氣動(dòng)升降頂蓋手動(dòng)或自動(dòng)上下載片預(yù)真空鎖基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制菜單驅(qū)動(dòng),4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)完全的安全聯(lián)鎖可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺(tái),用于深硅刻蝕

NRE-4000RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)產(chǎn)品型號(hào):

NRE-4000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 44"WNRE-3500:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"WNRE-3000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"WNRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)
 
 
打賞
[ 新聞資訊搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告訴好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 違規(guī)舉報(bào) ]  [ 關(guān)閉窗口 ]
免責(zé)聲明:
本網(wǎng)站部分內(nèi)容來(lái)源于合作媒體、企業(yè)機(jī)構(gòu)、網(wǎng)友提供和互聯(lián)網(wǎng)的公開(kāi)資料等,僅供參考。本網(wǎng)站對(duì)站內(nèi)所有資訊的內(nèi)容、觀點(diǎn)保持中立,不對(duì)內(nèi)容的準(zhǔn)確性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保證。如果有侵權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們,我們將在收到通知后第一時(shí)間妥善處理該部分內(nèi)容。
 

NRE-4000型RIE-PE刻蝕機(jī)_帶等離子刻蝕的RIE刻蝕機(jī),等離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕一體機(jī),進(jìn)口雙模式刻蝕機(jī),帶RIE的等離子刻蝕機(jī),_供應(yīng)信息_91化工儀器網(wǎng)二維碼

掃掃二維碼用手機(jī)關(guān)注本條新聞報(bào)道也可關(guān)注本站官方微信賬號(hào):"xxxxx",每日獲得互聯(lián)網(wǎng)最前沿資訊,熱點(diǎn)產(chǎn)品深度分析!
 

 
0相關(guān)評(píng)論

 
亚洲人午夜射精精品日韩| а√天堂中文最新版在线8| 免费精品无码av片在线观看| 男吃奶玩乳尖高潮视频| 永久免费av无码网站性色av| 中文字幕在线观看亚洲日韩| 日韩精品无码一本二本三本色| 韩国三级中文字幕hd久久精品| 欧洲黑大粗无码免费| 亚洲中文字幕无码av在线| 美女黄18以下禁止观看| a狠狠久久蜜臀婷色中文网| 狠狠88综合久久久久综合网| 亚洲av无码专区青青草原| 日日摸日日碰夜夜爽无码| 乌克兰粉嫩xxx极品hd| 中文字幕在线亚洲日韩6页| 国产日韩精品欧美一区喷水| 精品人人妻人人澡人人爽牛牛| 欧洲熟妇色 欧美| 国产自国产在线观看免费观看| 午夜男女爽爽爽在线视频| 无码人妻精品一区二区蜜桃百度| 奇米在线7777在线精品| 亚洲色精品vr一区二区三区| 精品香蕉99久久久久网站| 国产精品久久国产精麻豆99网站| 国产精品久久久久久久久绿色| 7m精品福利视频导航| 亚洲 中文 欧美 日韩 在线| 中文字幕av一区二区三区人妻少妇 | 野花在线无码视频在线播放| av综合网男人的天堂| 国产精品99精品无码视亚| 无遮无挡爽爽免费视频| 永久黄网站色视频免费| 国产区精品一区二区不卡中文| 久久久久免费看成人影片| 无码无套少妇毛多18pxxxx| 免费观看性欧美大片无片| 亚洲欧洲无码av不卡在线 |