2021年6月9日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，股票代碼：688012）在上?？偛颗e辦電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo nanova?第100臺反應(yīng)腔交付客戶慶祝儀式。中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運營官杜志游博士、集團副總裁兼等離子刻蝕產(chǎn)品事業(yè)總部總經(jīng)理倪圖強博士、副總裁兼ICP刻蝕產(chǎn)品部總經(jīng)理劉身健博士和其他核心團隊成員出席了慶祝儀式。

Primo nanova?是中微公司于2018年正式發(fā)布的第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備。該設(shè)備采用了中微公司具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電感耦合等離子體刻蝕技術(shù)，具有對稱的反應(yīng)腔、超高分子泵抽速、獨特的低電容耦合線圈設(shè)計和多區(qū)細分溫控靜電吸盤等創(chuàng)新特性，幫助客戶在存儲芯片和邏輯芯片的批量生產(chǎn)中獲得更好的工藝加工能力和更低的生產(chǎn)成本。

圖源 中微官網(wǎng)

目前，中微公司Primo nanova?產(chǎn)品已成功進入海內(nèi)外十余家客戶的晶圓生產(chǎn)線，在領(lǐng)先的邏輯芯片、DRAM 和3D NAND廠商的生產(chǎn)線上實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。在全球客戶的信任和支持下，中微公司第100腔Primo nanova?刻蝕設(shè)備的順利交付，是公司ICP刻蝕產(chǎn)品業(yè)務(wù)發(fā)展新的里程碑，標志著產(chǎn)品發(fā)展邁入新的階段。

當前集成電路科技發(fā)展日新月異，中微公司將繼續(xù)在全球客戶和產(chǎn)業(yè)鏈合作伙伴的支持下，持續(xù)開發(fā)極具競爭優(yōu)勢的技術(shù)和產(chǎn)品，助力行業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展。

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國際一線客戶從65納米到5納米工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。