keysight N1092A,86100D/C/B/A, 86105D/C/B/A,86107A,YOKOGAWAAQ6370D/C/B/A,示波器,光譜儀,光通信儀器
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oxford-instruments GaAs/AlGaAs-刻蝕砷化鎵/砷化鋁鎵刻蝕GaAs/AlGaAs-刻蝕砷化鎵/砷化鋁鎵使用PlasmaProTMSystemRIE100 刻蝕GaAs/AlGaAs推薦刻蝕氣體:SiCl4-Ar推薦使用的等離子體清潔氣體:O2-SF6晶片大直徑200mm 刻蝕速率50-150nm/min (依賴與批處理的數(shù)量) 均勻性