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Aerotech定位平臺(tái)ANT130XY

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-04-29  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):602
Aerotech定位平臺(tái)ANT130XY-110 發(fā)表時(shí)間:2019-04-29 14:24 作者:胤旭機(jī)電 來源:www.yinxu99.com 瀏覽:
胤旭機(jī)電網(wǎng)最新報(bào)道 >> Aerotech定位平臺(tái)ANT130XY-110 : Aerotech定位平臺(tái)ANT130XY-110 ANT130XY系列平臺(tái)在XY行程中提供高達(dá)160 mm的納米級(jí)性能。集成的時(shí)尚設(shè)計(jì)提供僅85 mm的極低輪廓。該平臺(tái)配備專有的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)技術(shù),非接觸式線性編碼器,限……
Aerotech定位平臺(tái)ANT130XY-110

ANT130XY系列平臺(tái)在XY行程中提供高達(dá)160 mm的納米級(jí)性能。集成的時(shí)尚設(shè)計(jì)提供僅85 mm的極低輪廓。該平臺(tái)配備專有的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)技術(shù),非接觸式線性編碼器,限制,集成電纜管理系統(tǒng)和三種性能等級(jí)。

超精密舞臺(tái)設(shè)計(jì)

ANT130XY設(shè)計(jì)允許優(yōu)化正交性,直線度和平直度等關(guān)鍵元素,從而形成具有出色幾何公差的平臺(tái)。Aerotech的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)沒有滯后或間隙,可在X和Y尺寸上實(shí)現(xiàn)精確且可重復(fù)的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。所有行程選項(xiàng)(60 mm x 60 mm,110 mm x 110 mm,160 mm x 160 mm)均具有85 mm的輪廓高度。集成的電纜管理系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于長壽命并最小化阻力。

非接觸式直接驅(qū)動(dòng)

只有非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)才能為大規(guī)模生產(chǎn)精密設(shè)備提供穩(wěn)健,精確和高速的定位。ANT130XY階段采用Aerotech率先推出的先進(jìn)直驅(qū)技術(shù),以實(shí)現(xiàn)最高水平的定位性能。這種直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)是高性能,無齒槽,非接觸,高速,高分辨率和高精度。

這種獨(dú)特的驅(qū)動(dòng)和軸承組合,采用極小的外形和封裝,在許多應(yīng)用中提供了切實(shí)的優(yōu)勢,如高精度定位,磁盤驅(qū)動(dòng)器制造,光纖對(duì)準(zhǔn),光學(xué)延遲元件驅(qū)動(dòng),傳感器測試和掃描過程要求平穩(wěn)而精確的運(yùn)動(dòng)。

多軸配置

ANT130XY可與其他Aerotech ANT系列產(chǎn)品(垂直提升級(jí),直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)式和測角儀)結(jié)合使用,以創(chuàng)建獨(dú)特的高性能多軸系統(tǒng)。

ULTRA性能等級(jí)選項(xiàng)

為了通過我們的多軸納米定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)最高的系統(tǒng)精度,Aerotech開發(fā)了一種先進(jìn)的動(dòng)態(tài)軌跡校準(zhǔn)系統(tǒng)。為了利用這種先進(jìn)的校準(zhǔn)系統(tǒng),機(jī)械系統(tǒng)必須在我們一流的計(jì)量實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行完全組裝,功能測試和校準(zhǔn)。

納米級(jí)系統(tǒng)精度只能在嚴(yán)格的環(huán)境條件下實(shí)現(xiàn),使用最佳測試設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn),使用最高精度的機(jī)械元件,并利用Aerotech行業(yè)領(lǐng)先控制的ULTRA軟件功能。通過使用ANT130XY實(shí)現(xiàn)ULTRA動(dòng)態(tài)軌跡校準(zhǔn),我們能夠產(chǎn)生 250 nm或更好的保證二維精度。

規(guī)范中提供的圖表說明了標(biāo)準(zhǔn)ANT130XY和ULTRA版本之間的性能差異。實(shí)際上消除了由階段偏航引起的直線度誤差,正交性誤差和精度誤差。

 
 
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