穿透式電子顯微鏡(TEM：Transmission Electron Microscopy)
使用鎢絲來發(fā)射電子束(熱游離)，當(dāng)電子束穿透物體時(shí)，電子受到物體原子排列的影響而散射，最后投影在投影銀幕上，

我們可以由電子束在投影銀幕上的二維投影圖，反過來推算物體原子的三維結(jié)構(gòu)與結(jié)晶情形。使用穿透式電子顯微鏡必須讓電子束可以“穿透”試片，

因此在觀察之前必須先將試片加工研磨成小于200nm(納米)的厚度才行，如何將試片研磨到這么薄又不破壞物體原有的結(jié)構(gòu)是非常困難的事，

將電子束在投影銀幕上的二維投影圖送入電子束偵測器，就可以得到如圖4-55(b)所示的穿透式電子顯微鏡(TEM)照片，穿透式電子顯微鏡(TEM)的解析度很高，可以用來觀察大約10nm(納米)的結(jié)構(gòu)，而且可以分辨不同材料組成的平面物體，也可以觀察物體的橫截面。