場發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM:Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)
使用六硼化鑭(LaB6)或納米碳管(CNT)制作成針尖小于100nm(納米)的納米尖端來發(fā)射電子束(場發(fā)射),
納米尖端可以使電子束的直徑縮小到10nm(納米)左右,
其原理與掃描式電子顯微鏡(SEM)相同,如圖4-54(d)所示為場發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM)照片,
場發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FESEM)的解析度更高,可以用來觀察大約10nm(納米)的結構,但是只能觀察物體表面的高低起伏,
所以表面平整的物體無法使用。