X光顯微鏡在故障分析上的應(yīng)用主要還是觀察package封裝是否有問(wèn)題,在測(cè)試確認(rèn)接腳有高阻值、大電流或可靠性問(wèn)題時(shí),并衡量一些其他的情況后,就有可能利用此儀器來(lái)檢視,檢視bonding wire是否斷裂或橋接,solder bump是否完全黏著在pad或是否有void產(chǎn)生,die與package substrate是否黏著完好或黑膠是否有過(guò)大的空洞等等
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