自動輪廓量測之垂直解析度可達0.1微米-光學(xué)儀器

三維量測系統(tǒng)及微小探頭之光機設(shè)計，及實驗雛型系統(tǒng)之制作及測試。

三維輪廓量測之垂直解析度可達 0.1 微米，高度掃描范圍可達 5 mm，水平量測
范圍由數(shù)十微米至數(shù)個 mm，水平量測解析度可達 0.8 微米，

自動光學(xué)三維顯微檢測技術(shù)。同時，微型數(shù)碼疊紋掃描探頭之設(shè)計為國內(nèi)外首創(chuàng)之新穎方式，
將為國內(nèi)極具潛力與競爭力之研發(fā)項目。

可攜式三維量測系統(tǒng)及微探頭之研發(fā)，期能達到下列幾項目：
◆ 探頭為可攜式適用于現(xiàn)場精密元件之三維輪廓量測。

◆ 探頭微小化，可用在狹窄空間上之檢測及人體口耳鼻內(nèi)視鏡。

◆ 二維彩色影像的擷取。
◆ 發(fā)展國內(nèi)自有技術(shù)與設(shè)備，改善以往新科技工業(yè)之設(shè)備皆整套外購之缺點