三次元量測

三次元量測(coordinate metrology)是利用量測探頭測定待測物在空間中座標(biāo)位置的一種量測方法，
可用來決定工件的實際特征尺寸與形狀誤差。三次元量測儀則是進行三次元量測所使用的儀器，
一般由三個相互正交的平移軸構(gòu)成卡式座標(biāo)系(Cartesian coordinates)，使探頭相對于待測物具有三個移動自由度，
若依照探頭與待測工件的個別自由度，三次元量測儀可細分為FXYZ、XFYZ、XYFZ與XYZF等四種型式。

某些具備齒輪等複雜形狀量測能力的三次元量測儀，其硬體還會多加入一旋轉(zhuǎn)軸，以滿足量測複雜特征所需之額外
自由度。依照ISO 10360-1規(guī)范所定義的分類，三次元量測儀共可分為十種不同類型，
當(dāng)中移動橋式與固定橋式為最常見的類型。

由于現(xiàn)今產(chǎn)品輕薄短小的發(fā)展趨勢，產(chǎn)品零件的體積與特征尺寸也愈來愈小，此一現(xiàn)象不但大幅提升微特征尺寸的
量測需求，世界上也有愈來越多的資源投入相關(guān)領(lǐng)域的研究。此類代表性的微元件包括微鏡片(micro lens)、
微流道(micro fluidic channel)、微噴嘴(micro nozzle)與微齒輪(micro gear)等微特征，若以傳統(tǒng)三次元方法進行量測，

絕大多數(shù)會遇到因為探針尺寸太大、或是接觸力道造成工件表面變形等原因而無法順利進行。至于光學(xué)式的量測方法，
若考慮較高的量測精度，則可量測范圍與景深會受到侷限，且尚有遮蔽與工件材質(zhì)限制等問題無法解決，
一般而言較不適合作為三維特征尺寸之量測應(yīng)用。為了解決微特征量測之需求，

微型化的探針搭配新型式的物理感測裝置進行量測，以解決傳統(tǒng)三次元系統(tǒng)在微量測上的限制。