微小機(jī)臺(tái)幾何誤差量測之研究

針對(duì)微小化的工具機(jī)或量測設(shè)備，探討適用于微小機(jī)臺(tái)之幾 何誤差量測與誤差補(bǔ)償方法。

雖然激光干涉儀是目前業(yè)界量測機(jī)臺(tái)幾何誤 差的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，但受限于微小機(jī)臺(tái)的工作空間，

架設(shè)光學(xué)鏡組并以激光干涉儀量測幾何誤差的方法并不可行，而是必須思考其他可能量測機(jī)臺(tái)誤差的方法。

介紹同時(shí)適用于小型工具機(jī)與量測顯微鏡之幾何誤差量測技術(shù)，

依據(jù)翻轉(zhuǎn)校正工件的量測概念，建立真直度與垂直度的誤差量 測方法。

后續(xù)經(jīng)由量測實(shí)驗(yàn)所獲得的幾何誤差資料，配合機(jī)臺(tái)之幾何誤差

模型推導(dǎo)，便可建立誤差地圖，進(jìn)而補(bǔ)償機(jī)臺(tái)之幾何誤差，提升設(shè)備精度。

以傳統(tǒng)的工具機(jī)而言，機(jī)臺(tái)誤差的來源不外乎是驅(qū)動(dòng)元件、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、機(jī)

械零組件、設(shè)備組裝與環(huán)境變化影響等因素，選用高精度之元件固然可以

降低機(jī)臺(tái)的誤差量，不過因此所增加的成本并不等同于設(shè)備精度之提升，
 

一般只有針對(duì)高精密之工具顯微鏡與三次元量測設(shè)備，才會(huì)使用高規(guī)格零件來

打造高重現(xiàn)性的平臺(tái)。隨著科技的發(fā)展，新型式的驅(qū)動(dòng)元件與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)不

斷推陳出新，環(huán)境控制設(shè)備的技術(shù)也愈趨成熟，使得近年來新推出的工具

機(jī)在精度上有所提升，不過硬體組件公差與機(jī)臺(tái)組裝誤差仍然存在，唯有導(dǎo)入機(jī)臺(tái)之幾何誤差補(bǔ)償技術(shù)，

才可以減少元件公差與裝配誤差的影響，進(jìn)一步提升設(shè)備的精度