使用顯微鏡自動(dòng)快速量測(cè)工件的輪廓

回顧

目前共焦量測(cè)系統(tǒng)均利用垂直單點(diǎn)掃描的方式來(lái)獲得三維輪廓資料，
在量測(cè)上將造成量測(cè)效率不彰以及易受到線上量測(cè)環(huán)境振動(dòng)問(wèn)題之干擾，
雖然也有利用一些特殊方式以達(dá)到線掃描效果(使用音叉震動(dòng)改變鏡組位置，以快速掃瞄不同點(diǎn)，
但掃描一整個(gè)平面速度仍顯不足，為避免掃描所花費(fèi)之時(shí)間，

發(fā)展非掃描式多光束高速量測(cè)共焦顯微鏡，利用微透鏡陣列元件將單一光源分成多光源來(lái)進(jìn)行快速全域式量測(cè)，
并將平行玻璃板放置在光路中，使得聚焦平面產(chǎn)生位移之效果，達(dá)成快速深度掃描。

彩色共焦快速形貌量測(cè)技術(shù)，利用軸向色散的原理使不同波長(zhǎng)之光源會(huì)聚焦在不同深度聚焦平面上，
可用單張影像重建出三維輪廓。Seng提出混合式共焦顯微鏡，此量測(cè)系統(tǒng)利用多影像路徑之架構(gòu)

，使不同CCD對(duì)應(yīng)待測(cè)物不同之聚焦位置，達(dá)成同步擷取不同深度資訊并快速重建出三維輪廓。
Bitte等人以數(shù)位微型反射鏡裝置(DMD)產(chǎn)生各種不同的結(jié)構(gòu)光圖案，作為主動(dòng)光源投射，
當(dāng)DMD所代表之像素對(duì)應(yīng)到物體聚焦面時(shí)，可以獲得最大影像強(qiáng)度，配合聚焦形貌法與聚焦函數(shù)，以重建物體三維輪廓。
 
而為了有效降低設(shè)備成本，勢(shì)必以較精簡(jiǎn)的架構(gòu)來(lái)達(dá)到量測(cè)的目的，
由不同聚焦程度之影像，搭配聚焦函數(shù)計(jì)算，
以判斷影像之聚焦程度來(lái)決定三維資訊，避免使用針孔對(duì)準(zhǔn)的不方便性。
而Noguchi 等人提出以投射主動(dòng)光源來(lái)改善聚焦形貌量測(cè)法，其主要是針對(duì)表面光滑之物體，
進(jìn)行量測(cè)時(shí)對(duì)表面投射結(jié)構(gòu)光圖形之光源，增加表面之高頻資訊，配合聚焦形貌量測(cè)法之原理與聚焦函數(shù)，
以重建物體三維輪廓。

架設(shè)一組光學(xué)架構(gòu)，利用創(chuàng)新的清晰度演算法，達(dá)成快速取得不同深度之影像，進(jìn)行全域式之高度量測(cè)