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精密光學(xué)顯微鏡儀器常識-多重取像量測原理簡介
多重取像量測原理
影像處理是以多重切片取像之方式,在不同工作距離下取得影像,將每張影像畫分為數(shù)個區(qū)塊,
分別計算一連串影像區(qū)塊清晰度,不同區(qū)塊影像會有其清晰度與高度的曲線分布,
藉由影像區(qū)塊在對焦點會產(chǎn)生最大清晰度的特性,找出對應(yīng)每個影像區(qū)塊最大清晰度值之間的距離,
作為重建待測物的表面高度資訊。
清晰度演算法
在判斷影像清晰度的準(zhǔn)則上,清晰的影像會呈現(xiàn)分明的邊緣,相鄰畫素的灰階值的差值差異會很大,
特別是在輪廓邊緣部份,而模糊的影像則無此特性。利用此特性,將影像以差分的方式處理,
可以得到此差值的資訊,集合此資訊可以作為影像清晰與否的指標(biāo),即為影像之清晰度值。
一般而言,影像之高頻訊號不足,會導(dǎo)致影像的模糊現(xiàn)象,因此藉由頻域濾波方式,采用高通濾波器,
判斷高頻訊號之資訊同樣可以作為影像清晰度的指標(biāo)
因此判斷影像的清晰度可采用差分方式或頻域濾波方式來作為影像處理方法