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三維輪廓線上精密量測專業(yè)圖像顯微鏡

運用數(shù)位微鏡組裝置(DMD) 之?dāng)?shù)位投射技術(shù)，發(fā)展一套光纖式數(shù)位
共焦三維形貌光學(xué)量測雛型系統(tǒng)。

運用影像光纖與光學(xué)鏡組，整合出一可微小 化三維量測系統(tǒng)，未來
可對狹小空間內(nèi) 物件進行三維輪廓線上精密量測。量測系統(tǒng)之架構(gòu)
原理，由數(shù)位投影裝置 (Digital Light Projectors)投光經(jīng)過光學(xué)
鏡組，將結(jié)構(gòu)光譜聚像至軟式光纖，使 用光纖可使得量測取像端獲
得可攜性 及型體之微小化。

在取像系統(tǒng)中加入分 光鏡、縮影物鏡、遠(yuǎn)心鏡頭與 CCD 等 裝置，藉
由同軸共焦(Coaxially Confocal) 量測原理構(gòu)成三維輪廓量測系統(tǒng)。