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近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡在納米測(cè)量的應(yīng)用簡介
近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡對(duì)于現(xiàn)今奈米尺度量測(cè) 上有高空間解析的能力
,是分析次波長微結(jié)構(gòu) 不可或缺的工具。
因其空間分辨率受限于光纖 探針的尺寸,為近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡中
關(guān)鍵部份, 探針自制能力,并且利用自制的探針與外差式近場(chǎng)
光學(xué)干涉儀結(jié)合已具有不錯(cuò)的成效。
再者,對(duì)于近場(chǎng)正交式的架構(gòu)已有初步的模擬結(jié)果。對(duì)于輻射狀
偏極態(tài)入射光在近場(chǎng)光學(xué)用探針模擬也觀察到了超小聚焦的現(xiàn)象,
有助于提升近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡之分辨率