掃描電鏡一能譜儀分析
近年來(lái),隨著X射線能譜儀的發(fā)展,以及與掃描電鏡聯(lián)機(jī)技術(shù)
的成熟,該項(xiàng)技術(shù)的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣,而對(duì)涂料的檢驗(yàn),
更是充分發(fā)揮這一分析手段的成功范例
掃描電鏡(SEM )/能譜儀(EDX)
由于SEM具有更高的分辨率和更大的景深,以及EDX的快速、
微區(qū)、微量測(cè)定元素成分的特點(diǎn),
使得SEM/EDX聯(lián)機(jī)技術(shù)綜合了以上兩種儀器的優(yōu)點(diǎn),并互相取長(zhǎng)
補(bǔ)短,顯出強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合的優(yōu)勢(shì),特點(diǎn)為:
(1)要求的樣品量少,立體顯微鏡下可見(jiàn)就夠,
且不破壞檢材,屬無(wú)損檢驗(yàn);
(2)在觀察樣品微觀形態(tài)特征的同時(shí),可測(cè)定
其微區(qū)元素成分及含量,即同時(shí)得到視野中微粒的元素成分;
(3)定性準(zhǔn)確,可區(qū)分兩個(gè)相似檢材。
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