成果名稱
Mini ? ?掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)研制
單位名稱
中科院物理研究所
聯(lián)系人
郇慶
聯(lián)系郵箱
qhuan_uci@yahoo.com
成果成熟度
□正在研發(fā) √已有樣機 □通過小試 □通過中試 □可以量產(chǎn)
合作方式
√技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ??√技術(shù)入股 ? □合作開發(fā)? √其他
成果簡介:
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? ? 這是一款工作在超高真空環(huán)境下的掃描隧道顯微鏡(STM)系統(tǒng),具備樣品的退火和濺射清理功能,并可以在原位情況下沉積各種有機/無機材料??稍趶囊汉貐^(qū)(<10K)到室溫范圍內(nèi)工作,降溫/升溫速度快,特別適合材料及相關(guān)研究人員快速表征樣品。同時,該系統(tǒng)具有很好的穩(wěn)定性,具備穩(wěn)定的原子分辨能力并可獲得一階和二階電流微分譜,經(jīng)擴展后可具備與光路連結(jié)的可能和AFM功能。其主要技術(shù)指標為:
? ? ?背景氣壓:≤ 1x10-10Torr
? ? ?工作溫度范圍:8K~350K
? ? ?原位沉積:? 是
? ? ?掃描范圍:
? ? ?4.0μmx4.0μmx0.6μm @ RT
? ? ?1.0μmx1.0μmx0.15μm @ 8K
? ? ?分辨率:原子分辨?
? ? ?靈敏度:
? ? ?XY: ≤200?/V?? Z:≤30?/V @ RT
? ? ?XY: ≤ 50?/V?? Z:≤ 7.5?/V @ 8K
? ? ?恒溫器類型:連續(xù)流
? ? ?降溫時間(室溫至≤10K): ~2小時
應(yīng)用前景:
? ? ?納米表征和研究的重要工具,國內(nèi)每年需求量在數(shù)十臺。
知識產(chǎn)權(quán)及項目獲獎情況:
? ? ?201510468456.5
? ? ?發(fā)明專利:200810114537.5和201410165949.7