高精度零件加工組裝視覺顯微鏡,集成電路工藝

  實際應用的裝配系統(tǒng)，一般采用集中裝配的方法，即整個微
系統(tǒng)的器件都在一個裝配系統(tǒng)中完成。采用這樣的裝配方式不僅
不能很好地解決微裝配存在的三維信息提取、全局一局部視覺系
統(tǒng)集成、粗一細運動平臺控制、裝配系統(tǒng)復雜等問題，還帶來了
新的問題，主要是：

  （1 ）采用機械手傳輸待裝配的器件，由于傳輸?shù)木嚯x遠，
機械手須特殊設(shè)計，且設(shè)計困難。當傳輸不同形狀零件時，機械
手的末端執(zhí)行器需要更換，浪費了裝配時間。

  （2 ）微裝配中使用的裝配機械手必須按零件鼓高的裝配精
度來設(shè)計，例如，一個微系統(tǒng)有十個零件，其中，九個零件的裝
配精度低于1 微米，另一個零件的裝配精度為0.01微米，則機械
手末端執(zhí)行器的定位精度必須小于0.01微米。這樣就大大增加了
機械手的設(shè)計成木。同樣，對于不同形狀的零件，也需要更換末
端執(zhí)行器，降低了裝配效率。

  （3 ）同樣，視覺系統(tǒng)的放大倍數(shù)，放置裝配子系統(tǒng)的運動
平臺都需要按最高精度來配置。

  （4 ）集中式裝配系統(tǒng)由于結(jié)構(gòu)復雜，并不能將問題分解、
簡化，從而最終解決。正好相反，它將許多問題集中在一起，形
成更加復雜的問題。

  要使微機電產(chǎn)品實用化，首要的問題是降低成本、提高效率、
能進行批量生產(chǎn)和基于集成電路工藝的微機電產(chǎn)品生產(chǎn)一樣）。
所以必須降低微裝配系統(tǒng)的成本，提高裝配效率，使得微裝配系
統(tǒng)標準化、模塊化和通用化，而不是針對不同的微產(chǎn)品設(shè)計不同
的裝配系統(tǒng)。

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