光切顯微鏡的檢驗(yàn)在使用中應(yīng)定期檢定提高準(zhǔn)確度

光切顯微鏡的檢驗(yàn)在使用中的光切顯微鏡應(yīng)定期檢
定，檢定時(shí)按有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行。使用操作人員為檢查所甩
儀器是否良好，可檢驗(yàn)下述幾項(xiàng)：
  1)傳動(dòng)升降機(jī)構(gòu)及粗精調(diào)機(jī)構(gòu)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)，不應(yīng)有卡住
或跳動(dòng)現(xiàn)象，鎖緊機(jī)構(gòu)要可靠。
  2)工作臺(tái)測微千分尺的不準(zhǔn)確度，要求在任意1毫米行
程上不超過0．01毫米。
  3)狹縫象和披測輪廓的象應(yīng)能同時(shí)調(diào)清晰，其清晰范目
不小于目鏡視場直徑的三分之二。當(dāng)在鏡架兩側(cè)
用手施加壓力時(shí)，象的位移不應(yīng)超過0．05毫米，當(dāng)撤去外方
后象不能回原位不應(yīng)超過0．03毫米。
  4)狹縫象的輪廓邊緣應(yīng)光滑平直，兩邊緣的不平行度在．
目鏡視場內(nèi)不應(yīng)超過0．03毫米。
  5)物鏡座定位應(yīng)可靠，當(dāng)更換不同倍數(shù)的物鏡時(shí)，象的
最大偏移量：在平行于狹縫象方向上不應(yīng)超過0．3毫米，在
垂直于狹縫象方向上不應(yīng)超過0．5毫米。
  6)示值誤差。光切顯微鏡的示值誤差是個(gè)綜合誤差，它
與光學(xué)系統(tǒng)誤差、機(jī)械精度以及被測面的微觀不平度的結(jié)構(gòu)
有關(guān)。

  照明物鏡和觀察物鏡是成對使用的。
玻璃標(biāo)準(zhǔn)尺的刻線是在同一平面上，在目鏡內(nèi)觀察到的
象是刻線經(jīng)放大了的實(shí)際象。而被測表面上的微觀不平度的
微小峰谷是立體的，目鏡內(nèi)觀察到的象是微觀不平度在光切
面內(nèi)的輪廓，不是被測面的實(shí)際輪廓。如前所述，光切面內(nèi)
的輪廓與其實(shí)際輪廓相差光切原理系數(shù)。
光切顯微鏡的測量誤差光切顯微鏡的測量誤差，包
括儀器本身的系統(tǒng)誤差和測量過程的偶然誤差。

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