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表面粗糙度測量中散斑的測量光學顯微鏡原理

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-03-12  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):1047

干涉法中

有雙光束法、雙孔徑法和四孔徑法等.作為應用測量已報導的有
表面粗糙度測量、疲勞試驗、橫向位移測量、縱向位移測量、傾
斜角測量、振動測量等.對于散斑測量的記錄和全息測量的情形
相同,需使用與所用激光波長相符合的感光材料,分辨率不要求
那么高.使用的光學系統(tǒng)要充分地考慮到感光材料的分辨率進行
布置,這一點是很重要的.下面就使用相關(guān)法的疲勞試驗和使用
雙孔徑干涉法測量沿表面位移的例子加以說明.

疲勞試驗
  散斑圖樣是將激光照照到有粗糙表面的物體上,由被照明表
面的各點產(chǎn)生的反射光相互干涉而生成顆粒狀結(jié)構(gòu)的明暗圖樣.
其中包含著有關(guān)表面微觀形狀的信息.疲勞本來是難以定量控制
的局部破壞現(xiàn)象,可是由于疲勞,會產(chǎn)生滑痕線、裂紋和微觀組織

的變化.將產(chǎn)生疲勞前的圖樣作為濾波器,通過測量陰影濾波器
的平均透過光強的變化能夠試驗出疲勞的發(fā)生.
這種方法在比用顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)異狀裂痕還要早的時刻就能從透過光強
中發(fā)現(xiàn)這種變化.

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復制http://www.sgaaa.com)

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關(guān)鍵詞: 測量 疲勞 孔徑 表面 圖樣
 
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表面粗糙度測量中散斑的測量光學顯微鏡原理二維碼

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