斷口表面的定量分析樣品體視光學顯微鏡的應用技術(shù)
體視學參數(shù)測量的一些實際問題
在實際測量體視學參數(shù)時,所獲得的結(jié)果的可信程度取決予
一系列因素,能否取得有代表意義的樣本是一個重要問題。如果
達個問題沒有正確解決,則在以后的全部測量工作中不論如何精
心進行都不能獲得可信的結(jié)果。
在獲得有代表意義的樣本之后,樣品的制備方法
及在觀察時所采用的顯微鏡的分辨率等都會影響測量結(jié)果。另
外,截取樣品(特別是截取薄膜樣品)的厚度,截取時使樣本發(fā)
生壓縮或者收縮也會帶來測量誤差。
必須指出,實際斷口表面的分類常常會受到觀察用放大倍數(shù)
的影響。例如,一個在低倍觀察時呈現(xiàn)為名義平坦類型的斷口,
在較高放大倍數(shù)下可能會呈現(xiàn)為任意曲率斷口表面。因此,在報
告斷口表面類型時有必要同時說明觀察時使用的放大倍數(shù)。
在絕大多數(shù)情況下斷口表面是非平面的。從而,有必要選擇
一種合適的觀察方法使斷口表面上所有點均落入聚焦范圍內(nèi)。使
用普通光學顯微鏡常常不能滿足這一要求。在實際工作中使用最
多的是掃描電子顯微鏡斷口表面(或其剖面跡線)觀察和透射電
子顯微鏡斷口復型觀察。
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