顯微物鏡

  光切顯微鏡測量微觀尺寸的范圍，一方面受物鏡分辨能力的
限制和儀器總的放大倍率的影響，這決定了所測量的最小極限即
測量精度；另一方面物鏡的成像深度(即景深)限制了可測的最大
極限。儀器的分辨能力和景深都與物鏡的數(shù)值孔徑有關(guān)，因此為了
擴(kuò)大儀器的測量范圍，應(yīng)配備多對不同的放大倍率和數(shù)值孔徑的
顯微物鏡組。

  普通雙管顯微鏡測量范圍為0．8～80微米，比顯微干涉法和投
影光柵法范圍大得多，但有些微機(jī)械器件具有很大的高度尺寸(高
達(dá)幾百微米)，所以有必要對顯微物鏡組進(jìn)行擴(kuò)充。對同一物鏡組，
測量精度、測量范圍和視場直徑是相關(guān)的，更換物鏡時需同時兼顧
三方面的參數(shù)要求。

  2．光源與狹縫
  光源對讀數(shù)測量的精度影響很大。讀數(shù)時以圖像邊緣為測量
依據(jù)，所以狹縫的邊緣要整齊尖銳，兩半片要具有較好的平行度和
可調(diào)節(jié)性。此外，因為測量的圖像為一截面上的輪廓，所以得到的
光帶寬度不宜過大(一般控制在0．18 mm以下)，如果窄光帶對應(yīng)
的圖像亮度不夠，可將普通的照明光源換成小型激光器，圖像質(zhì)量
將會得到提高。

  在圖像測量中也同樣存在放大倍率與照明的改造設(shè)計問題。

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