精密的微細(xì)加工基于光切顯微鏡圖像測(cè)量設(shè)計(jì)

基于光切法的圖像測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)
  手工讀數(shù)測(cè)量在一定程度可以緩解生產(chǎn)加工中的急需，但先
進(jìn)、精密的微細(xì)加工與比較原始的測(cè)量技術(shù)仍然極不協(xié)調(diào)。從微機(jī)
械、微細(xì)加工的要求和測(cè)量技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)來(lái)看，在光切顯微測(cè)量
基礎(chǔ)上引入現(xiàn)代的圖像測(cè)量技術(shù)將大大提高微機(jī)械幾何測(cè)量的質(zhì)
量和水平。

系統(tǒng)工作原理

  顯微鏡成像面上電荷耦合器件CCD(工業(yè)相機(jī))的光學(xué)一機(jī)械混合
掃描先完成圖像輸入，接著再經(jīng)放大和A／D轉(zhuǎn)換后形成數(shù)字化信息，
存入計(jì)算機(jī)內(nèi)存。信息即時(shí)分析后，

系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)焦。計(jì)算機(jī)上獲取的理想圖像數(shù)字化信息，用于對(duì)

測(cè)量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)、分析及存儲(chǔ)、輸出等。

  顯微放大物鏡將圖像成像在CCD光敏陣列上。CCD通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路
完成一次y向自掃描。在控制電路作用下，

視頻信號(hào)處理電路將CCD輸出信號(hào)進(jìn)行濾波放大，用A／D電路
進(jìn)行數(shù)字化；而后一行圖像數(shù)據(jù)通過(guò)數(shù)據(jù)通道進(jìn)入幀存儲(chǔ)器。以上
操作與CCD自掃描同步進(jìn)行，不受計(jì)算機(jī)CPU控制，因此速度會(huì)
很高。隨后控制電路啟動(dòng)步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)CCD移動(dòng)到下一個(gè)采樣位
置。CCD又進(jìn)行y向自掃描，并重復(fù)以上過(guò)程，輸入第二行數(shù)據(jù)，
直到整個(gè)畫(huà)面輸入完畢。經(jīng)自動(dòng)調(diào)焦并采集完理想的圖像信息后，
控制電路啟動(dòng)步進(jìn)電機(jī)反向旋轉(zhuǎn)并復(fù)位。幀存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)經(jīng)接
口可以以查詢方式輸入計(jì)算機(jī)內(nèi)存。通過(guò)圖像處理得到的所需圖
形信息，顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上，可將其以數(shù)據(jù)文件的形式存入計(jì)算
機(jī)內(nèi)存或外存，以便于后期統(tǒng)計(jì)分析和輸出等應(yīng)用。

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