X射線熒光光譜（XRF）分析法是對各種各樣材料進(jìn)行元素測定的一種現(xiàn)代化的通用分析方法。不管是固體樣品、粉末樣品、還是液體樣品，位于元素周期表上從4號元素鈹（Be）到92號元素鈾(U)之間的所有元素都可以進(jìn)行精確的定性、定量及無標(biāo)樣分析，同時還可對薄膜的厚度進(jìn)行測定。根據(jù)不同應(yīng)用要求，其分析濃度范圍可從0.1ppm高至100%，而且即使高至100%的元素濃度也能直接進(jìn)行測量而無須進(jìn)行稀釋，測量重現(xiàn)性優(yōu)于±005%。XRF分析具有樣品制備簡單、測定元素范圍廣、測定精度高、重現(xiàn)性好、測量速度快、無環(huán)境污染等特點。     ICP光譜儀主要測量金屬元素，測量范圍一般在ppb到5%以下（AAS測量ppm到5%），對于高含量的元素，必須要稀釋幾千倍甚至上萬倍才能測量，從而容易產(chǎn)生測量誤差。ICP光譜儀不能直接分析固體樣品及油類樣品，必須將樣品處理成液體。對于固體樣品必須溶解，對于難溶元素必須使用各種不同的方法，比如用強酸強堿溶解，流程非常復(fù)雜，樣品制備過程會對環(huán)境造成污染。ICP光譜儀對于非金屬元素，如B、C、N、O、F、Si、P、S及鹵素元素等不能測量。     以上是X射線熒光儀同ICP光譜儀簡單的對比，兩款儀器不能相互代替，是屬于互補型儀器，每種儀器都有其存在的必要性，否則這種儀器已被淘汰。這里關(guān)鍵看應(yīng)用，若每天必須分析液體樣品，或者分析對象均是在ppb/ppm數(shù)量級，則選擇ICP更適合，因為其價格相對便宜。而且在ppb/ppm級含量，其重復(fù)性要優(yōu)于X熒光。若分析的對象有固體樣品也有液體樣品，分析的元素有金屬元素也有非金屬元素，并且ppb/ppm級含量的元素不是占主要地位，而且塊狀、粉末樣品量很多，X射線熒光儀是最適合的。     另外直讀光譜儀屬于冶金行業(yè)的重要檢測設(shè)備，能夠?qū)儆谔囟ㄅ盘柕慕饘贅悠酚枰詼?zhǔn)確分析?；痉治鲈胤秶蜋z出線與XRF有很大相似性。簡單說直讀光譜儀是檢測成型金屬樣品的首選設(shè)備，但直讀光譜儀不能分析粉末樣品，對于焊劑、爐渣等產(chǎn)品無法開展分析。同時由于其對排號屬性的依賴，一般無法滿足機械制造行業(yè)樣品多樣、成分復(fù)雜的檢測要求。最后直讀光譜儀相比XRF無法開展無標(biāo)樣分析，也就是無法對完全未知樣品進(jìn)行準(zhǔn)確或近似定量。這也是大型機械生產(chǎn)研發(fā)企業(yè)選擇XRF的一個重要原因。