各類薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、集成電路裝備、真空非標(biāo)系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)、各種實驗室特殊需求儀器的制造

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司是由幾位中科院博士生聯(lián)合創(chuàng)辦和管理的高科技研究型企業(yè)。公司業(yè)務(wù)部主要分為太陽能發(fā)電領(lǐng)域事業(yè)部和科學(xué)儀器事業(yè)部兩大部門。

太陽能發(fā)電領(lǐng)域事業(yè)部以致力于光伏發(fā)電系統(tǒng)集成研究、光伏設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)為主導(dǎo)。鵬程真空光伏部與國內(nèi)外多所著名高校、電力設(shè)計研究院、業(yè)內(nèi)知名企業(yè)及相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，擁有全套的光伏系統(tǒng)集成設(shè)計能力與配套產(chǎn)品供應(yīng)。

科學(xué)儀器事業(yè)部主要從事研發(fā)生產(chǎn)，各類薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、集成電路裝備、真空非標(biāo)系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)、各種實驗室特殊需求儀器的制造。

      主要用途：

多弧離子鍍膜系統(tǒng)主要用于在柱狀鉆頭、銑刀等刀具上鍍制薄膜而特殊設(shè)計的一種專用設(shè)備。鍍制出來的刀具有附著力強(qiáng)、耐磨、摩擦系數(shù)小等特點，在科研與工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用前景。

系統(tǒng)組成:

多弧離子鍍膜系統(tǒng)主要由鍍膜室、樣品轉(zhuǎn)盤組件、前門組件、加熱體組件、安裝機(jī)架、Ф100mm多弧源、條形離子源、節(jié)流閥組件及控制系統(tǒng)等組成。

技術(shù)指標(biāo)：

極限真空度： 6.7 10 Pa

恢復(fù)真空時間：從1 10 Pa抽至5 10 Pa 20min

系統(tǒng)漏率：6. 7 10-7Pa.L/S；

真空室圓筒型結(jié)構(gòu) 1500 1200(mm)，雙層夾壁水冷結(jié)構(gòu)，電動開啟，樣品可升降、旋轉(zhuǎn)

采布置12個電弧源，靶直徑100mm樣品基片: 負(fù)偏壓 -200V，樣品的溫度從室溫至400℃連續(xù)可調(diào)可控。用4路質(zhì)量流量計進(jìn)氣。