準(zhǔn)分子激光器
LightMachinery公司成立于2002年,前身為Lumonics公司。2008年收購了英國GSI公司全套準(zhǔn)分子激光產(chǎn)品線,成為了zui著名的大型準(zhǔn)分子激光供應(yīng)商。
?1. 一體化金屬陶瓷腔技術(shù),保證長的氣體壽命及激光腔壽命
?2. 腔內(nèi)氣體凈化裝置及軟預(yù)電離技術(shù)保證高質(zhì)量的激光光斑輸出及穩(wěn)定的激光能量輸出
?3. 重載光學(xué)支架及的keyed-optic design 保證了激光光點的穩(wěn)定性光學(xué)元件的穩(wěn)固性
IPEX系列產(chǎn)品
IPEX-840系列
型號
工作氣體
ArF
KrF
XeCl
XeF
波長(nm)
193
248
308
351
zui大脈沖能量(mJ)
IP-848/846
200
400
250
225
zui大平均功率(W)
IP-848
40
80
50
45
IP-846
20
40
25
22
zui大重復(fù)頻率(Hz)
IP-848
200
200
200
200
IP-846
100
100
100
100
脈沖寬度(ns)
12-20
光斑大?。╩m)
12 26
發(fā)散角(mrad)
1 3
IPEX-860系列
型號
工作氣體
KrF
XeCl
XeF
波長(nm)
248
308
351
zui大脈沖能量(mJ)
IP-866/864
600
350
300
zui大平均功率(W)
IP-866
60
35
30
IP-864
30
17
15
zui大重復(fù)頻率(Hz)
IP-866
100
100
100
IP-864
50
50
50
脈沖寬度(ns)
12-20
光斑大小(mm)
8-12 27
發(fā)散角(mrad)
1 3
應(yīng)用:DWDM應(yīng)用的布拉格光纖光柵的刻寫,電路板修復(fù),堅硬材料如金屬、陶瓷的微加工,薄的金屬膜層的圖案刻畫,醫(yī)用塑料如聚亞安酯輸尿管的加工,PLD等。
PulseMaster系列產(chǎn)品
PulseMaster-840系列
型號
工作氣體
ArF
KrF
XeCl
XeF
波長(nm)
193
248
308
351
zui大脈沖能量(mJ)
PM-848/846/844/842
230
450
300
275
zui大平均功率(W)
PM-848
30
80
50
45
PM-846
15
40
25
22
PM-844
6
20
12
11
PM-842
3
10
6
6
zui大重復(fù)頻率(Hz)
PM-848
200
200
200
200
PM-846
100
100
100
100
PM-844
50
50
50
50
PM-842
25
25
25
25
脈沖寬度(ns)
12-20
光斑大?。╩m)
8-12 26
發(fā)散角(mrad)
1 3
PulseMaster-860系列
型號
工作氣體
ArF
KrF
XeCl
XeF
波長(nm)
193
248
308
351
zui大脈沖能量(mJ)
PM-866/864
250
650
400
350
zui大平均功率(W)
IP-866
10
30
20
18
IP-864
5
15
10
9
zui大重復(fù)頻率(Hz)
IP-866
50
50
50
50
IP-864
25
25
25
25
脈沖寬度(ns)
12-20
光斑大?。╩m)
12 27
發(fā)散角(mrad)
1 3
準(zhǔn)分子激光應(yīng)用:
小型準(zhǔn)分子激光器
ATL是專門生產(chǎn)的公司,性能穩(wěn)定、操作簡單、性價比高而備受科研和眼外科、激光微加工設(shè)備廠家和科研用戶的青睞。
主要優(yōu)點:
?1. 采用高品質(zhì)光腔材料,減少清洗次數(shù),獨特的設(shè)計大大縮短每次腔鏡清洗的時間。
?2. 有恒定能量、恒定電壓兩種激光輸出控制方式。激光器自動充、換氣體,保證穩(wěn)定的能量輸出,并帶有檢測裝置。
?3. 采用空氣制冷,操作更簡單方便。
氣體介質(zhì)
F2
ArF
KrF
XeCl
XeF
波長
157nm
193nm
248nm
308nm
351nm
zui大脈沖能量
1mJ
13mJ
20mJ
10mJ
7mJ
zui大平均功率
0.5W
6W
10W
5W
2.5W
zui大重復(fù)頻率
300Hz/500Hz
脈沖寬度
4-6ns
光斑尺寸
4x6mm
光束發(fā)散角
2x1 mrad
能量穩(wěn)定性
3%
外形尺寸
540x470x370mm