儀器信息網(wǎng)訊 6月18日，荷蘭國家原子分子研究所 (AMOLF)發(fā)文稱，該實驗室與荷蘭delmic公司、Thermo Fisher公司的儀器合作項目獲得重大突破，研制的兩款全新的超快顯微鏡可以在納米尺度下拍攝光學圖像，時間分辨率可低至1 ps。且其中一款電鏡已經(jīng)推向市場，首臺于4月份出售。

　　產(chǎn)學研結合獲重大成果——一款已推向市場并售出

　　AMOLF實驗室、荷蘭delmic公司、Thermo Fisher公司，這三個合作伙伴于2016年成立了一個聯(lián)合團隊，旨在將掃描電子顯微鏡(SEM)和光收集和分析系統(tǒng)集成到一個新的顯微鏡中，電子束是脈沖的，并且以時間分辨的方式采集產(chǎn)生的光(陰極發(fā)光)。

　　2018年5月22日，在三個合作伙伴項目會議期間，展示了兩款全新超快SEM。 Thermo Fisher和Delmic已將其中的一款SEM推向市場，且第一臺產(chǎn)品于2018年4月售出。據(jù)悉，全新的超快掃描電鏡產(chǎn)品將在悉尼國際顯微鏡會議上展出(2018年9月9日至14日)。

　　第一款SEM——超快速beam-blanker

　　第一款超快速SEM由Thermo Fisher Quanta 650 FEG SEM、Delmic SPARC光采集和分析系統(tǒng)組成，在SEM電子柱上集成了超快靜電束消除器，配置專用電子器件和軟件，使用專用電子器件和軟件，系統(tǒng)可以輸送短于30 ps(5 keV)的電子脈沖，同時利用單光子計數(shù)/相關光譜學來收集陰極發(fā)光的時間依賴性。

　　該產(chǎn)品可提供陰極發(fā)光壽命和g(2)光子關聯(lián)，這些數(shù)據(jù)則可以為研究半導體納米結構和量子光學等提供關鍵信息。

　　第二款SEM——脈沖激光驅動的陰極

　　在第二款顯微鏡新品中，SEM電子陰極被250飛秒的紫外激光脈沖激發(fā)，產(chǎn)生超短電子脈沖。這使得能夠在皮秒時間尺度上對光學現(xiàn)象進行空間成像。 此外，這款顯微鏡可支持超高速脈沖探針光譜，其中激光脈沖分為兩部分：一部分激發(fā)樣品，另一部分激發(fā)光電陰極，產(chǎn)生探測樣品的電子脈沖。超高速脈沖探針陰極發(fā)光光譜與極高的空間分辨率結合，使其成為一種獨特的儀器。

　　該合作項目已經(jīng)發(fā)表兩篇論文：

　　Nanoscale relative emission efficiency mapping using CL g(2) imaging

　　S. Meuret, T. Coenen, S. Woo, Y.-H. Ra, Z. Mi and A. Polman, Nano Lett. 18, 2288 (2018)

　　Photon bunching reveals single-electron cathodoluminescence excitation efficiency in InGaN quantum wells

　　S. Meuret, T. Coenen, M. L?tzel, S. Christiansen, S. Conesa Boj, and A. Polman, Phys. Rev. B 96, 035308 (2017)

　　第三篇文獻關于以上創(chuàng)新超快顯微的技術特點介紹已提交，即將發(fā)表：

　　Complementary cathodoluminescence lifetime imaging configurations in scanning electron microscopy

??? S. Meuret, T. Coenen, M. Solà-Garcia, E. Kieft, H. Zeijlemaker, M.Latzel, S. Christiansen, S.Y. Woo, Y-H Ra, Z. Mi, A. Polman.

　　聯(lián)合團隊成員合影，從左至右一次是：Erik Kieft (Thermo Fisher), Ernst Jan Vesseur (Thermo Fisher), Nico Clemens (Thermo Fisher), Sophie Meuret (AMOLF), Toon Coenen (Delmic/AMOLF), Albert Polman (AMOLF), Sander den Hoedt (Delmic), Andries Effting (Delmic) and Magda Sola Garcia (AMOLF).