隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移，我們預(yù)計國產(chǎn)檢測設(shè)備將迎來發(fā)展東風(fēng)，本土檢測設(shè)備廠商有望成為設(shè)備進口替代的先行者。

乘晶圓廠建設(shè)東風(fēng)，檢測設(shè)備迎來發(fā)展良機

檢測貫穿集成電路制造全程，是保證良率的關(guān)鍵。我們估算2018/19年中國大陸檢測設(shè)備市場空間為149/218億元，同比增長43%/47%。其中前道/后道檢測設(shè)備市場空間將分別從2018年的84/64億元增長47%至2019年的124/94億元，市場空間廣闊。

前道過程控制檢測：國產(chǎn)設(shè)備有望從細分領(lǐng)域突圍

1)涵蓋多種細分設(shè)備，覆蓋各類參數(shù)檢測。前道檢測針對膜厚、膜應(yīng)力、折射率、線寬等關(guān)鍵參數(shù)進行測量，主要設(shè)備包括有圖形晶圓光學(xué)檢查設(shè)備/掩膜檢查設(shè)備/薄膜測量設(shè)備/關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡等，預(yù)計以上設(shè)備2019e中國大陸市場空間分別為40/16/15/12億元。

2)外資主導(dǎo)市場，國產(chǎn)設(shè)備有望從細分領(lǐng)域突圍?？评?日立/應(yīng)用材料分別擁有53%/13%/12%的份額，CR3達79%，市場基本被外資占據(jù)。目前上海睿勵在光學(xué)測量方面實現(xiàn)國產(chǎn)化，精測電子(44.990, -1.72, -3.68%)也已有布局，國產(chǎn)商未來有望在部分細分領(lǐng)域取得突破。

后道檢測：部分國產(chǎn)企業(yè)初露崢嶸,下游應(yīng)用領(lǐng)域有待拓展

1) 三類設(shè)備合計市場空間百億。后道檢測設(shè)備包括測試機、分選機和探針臺三類，我們估算以上設(shè)備2019e中國大陸市場空間分別為67/10/17億元。

2) 外資占據(jù)主導(dǎo)，部分企業(yè)實現(xiàn)進口替代。2017年，龍頭企業(yè)泰瑞達、愛德萬、科休和科利登的市場份額分別為35%、26%、7%和7%，CR2/CR4達61%/75%，市場高度集中。目前已有本土企業(yè)在某些細分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化，如長川科技(21.880, 0.03, 0.14%)在模擬/數(shù)?；旌想娐返臏y試機和分選機領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了進口替代，精測電子也有產(chǎn)品在研，但國產(chǎn)高端數(shù)字電路和SoC檢測依然有待拓展。

隨著中國大陸的晶圓廠設(shè)備投入進入高峰期，國產(chǎn)設(shè)備廠商也迎來發(fā)展良機。我們預(yù)計本土檢測設(shè)備廠商有望成為設(shè)備進口替代的先行者。

在此利好背景下，為促進半導(dǎo)體材料工作者學(xué)術(shù)及技術(shù)交流，為半導(dǎo)體檢測市場東風(fēng)助力，91儀器信息網(wǎng)將于2019年9月3日舉辦“半導(dǎo)體材料及器件”主題網(wǎng)絡(luò)研討會。為全國在半導(dǎo)體及器件領(lǐng)域或有意在本領(lǐng)域從事研發(fā)、教學(xué)、生產(chǎn)的科技人員提供一個學(xué)術(shù)與技術(shù)交流的平臺。會議依托成熟的網(wǎng)絡(luò)平臺，突破時間及地域的限制，讓大家足不出戶便能聆聽行業(yè)專家的精彩報告。

會議時間：8月13-16日

會議形式：網(wǎng)絡(luò)線上學(xué)習(xí)

參與方式：免費報名，報名鏈接：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/bdt2019/

會議日程：

“半導(dǎo)體材料及器件”主題網(wǎng)絡(luò)研討會(9月3日)

14:00-14:30

半導(dǎo)體納米材料原子尺度結(jié)構(gòu)性能關(guān)系的透射電子顯微學(xué)研究

李露穎（華中科技大學(xué)）

14:30-15:00

賽默飛離子色譜在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

鐘新林（賽默飛）

15:00-15:30

珀金埃爾默公司半導(dǎo)體行業(yè)檢測方案

華瑞（珀金埃爾默）

15:30-16:00

四種制樣實驗方案在SEM/EBSD領(lǐng)域的應(yīng)用

程路（徠卡）

16:00-16:30

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及相關(guān)檢測技術(shù)進展

黃杰（國家半導(dǎo)體器件質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心）

部分演講嘉賓預(yù)告：

李露穎，華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心副教授，博士生導(dǎo)師。2011年5月畢業(yè)于美國電子顯微學(xué)圣地亞利桑那州立大學(xué)，獲博士學(xué)位，主要從事納米材料原子分辨率微結(jié)構(gòu)及納米尺度電學(xué)性能的結(jié)合研究，重點關(guān)注材料的特定原子結(jié)構(gòu)及相應(yīng)電勢、電場、電荷分布對宏觀物理性質(zhì)的影響，取得了一系列有影響力的研究成果。到目前為止累積發(fā)表SCI 收錄論文72篇，發(fā)表第一作者或通訊作者論文18篇，其中包括Advanced Materials 4 篇(其中一項工作被Nature Physics 雜志選為研究亮點，被評價為結(jié)構(gòu)-性能相關(guān)研究的典范)、Nano Letters 2 篇、Nature Communications 1 篇、Advance Science 2 篇、Small 1篇、Advanced Optical Materials 1篇等，論文總引用1700余次，H因子為21，并多次受邀在國際國內(nèi)電子顯微學(xué)年會上做邀請報告，目前擔(dān)任湖北省電子顯微鏡學(xué)會理事。

報告題目：

半導(dǎo)體納米材料原子尺度結(jié)構(gòu)性能關(guān)系的透射電子顯微學(xué)研究

報告摘要：

利用電子全息技術(shù)第一次獲取了納米尺度單個Ge量子點及單根Ge/Si核殼結(jié)構(gòu)納米線電荷分布情況的直接實驗證據(jù)。結(jié)合利用電子全息及相關(guān)表征技術(shù)，從實驗角度獲得ZnSe納米線多型體同質(zhì)異構(gòu)結(jié)對電荷進行裁剪的信息及InAs納米棒中多型體原子尺度的自發(fā)極化強度及其受界面應(yīng)力影響，為相關(guān)光電器件物理性質(zhì)的調(diào)控提供了堅實的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)。

黃杰，研究員，國家半導(dǎo)體器件質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心主任，中國電科13所副總工程師兼檢測中心主任，天津大學(xué)碩士學(xué)位。1990年參加工作，一直從事質(zhì)量檢驗、質(zhì)量管理、標(biāo)準化管理工作。黃杰具有深厚的質(zhì)量與可靠性理論與基礎(chǔ)，熟練掌握電子元器件可靠性試驗的原理和試驗方法，擅長各類電子元器件新的試驗方法研究，對電子元器件的質(zhì)量與可靠性評估有獨到的見解。致力于核心電子器件的應(yīng)用驗證流程方法研究，以及具體產(chǎn)品的應(yīng)用驗證，首次提出產(chǎn)品成熟度評估方法。在半導(dǎo)體照明領(lǐng)域，是科技部半導(dǎo)體照明工程辦公室技術(shù)專家，中國半導(dǎo)體照明/LED產(chǎn)業(yè)與應(yīng)用聯(lián)盟理事，國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟標(biāo)準化工作組成員，國家標(biāo)委會技術(shù)專家，中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會光電器件分會特聘專家，河北省半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟技術(shù)委員會專家，中國電子元器件失效分析協(xié)作網(wǎng)理事等等。

報告題目：

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及相關(guān)檢測技術(shù)進展

報告摘要：

半導(dǎo)體產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于通信、計算機、工業(yè)、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域，是支撐我國經(jīng)濟社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的升級，我國正由制造業(yè)大國向制造業(yè)強國轉(zhuǎn)變，報告給出了我國半導(dǎo)體行業(yè)面臨的機遇和挑戰(zhàn)，梳理了國家制定的相關(guān)引導(dǎo)和扶持政策，分析了半導(dǎo)體材料、設(shè)備、芯片設(shè)計、制造及封測方面的市場占比和布局，最后給出了與半導(dǎo)體相關(guān)的檢測技術(shù)介紹。