雖然直讀光譜儀本身檢測(cè)準(zhǔn)確度很高，但是在測(cè)定樣品中元素含量時(shí)所得結(jié)果與真實(shí)值含量還是會(huì)存在偏差，這稱為誤差。根據(jù)誤差的性質(zhì)及其產(chǎn)生原因，誤差可分為系統(tǒng)誤差（恒定誤差）和隨機(jī)誤差（偶然誤差）兩類。

a圖系統(tǒng)誤差占主要因素；b圖隨機(jī)誤差占主要因素；c圖是比較理想的測(cè)量結(jié)果

系統(tǒng)誤差是指在一定試驗(yàn)條件下由某個(gè)或某些因素按照某一確定的規(guī)律起作用而形成的誤差。它決定了測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度，系統(tǒng)誤差的大小和符號(hào)在同一試驗(yàn)中是恒定的，改變?cè)囼?yàn)條件時(shí)按照確定的規(guī)律變化。重復(fù)測(cè)定不能發(fā)現(xiàn)和減少系統(tǒng)誤差，只有改變?cè)囼?yàn)條件才能發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)誤差。測(cè)定結(jié)果與真實(shí)值偏離的程度越小，測(cè)定結(jié)果越正確，系統(tǒng)誤差就越小。一旦發(fā)現(xiàn)有系統(tǒng)誤差，一定要找出原因，設(shè)法避免和校正。

隨機(jī)誤差是具有隨機(jī)性的誤差，出現(xiàn)這種現(xiàn)象完全是一系列偶然因素（如測(cè)定環(huán)境的溫度、濕度、振動(dòng)、灰塵、油污、老化和儀器性能等）微小隨機(jī)波動(dòng)造成的。如果對(duì)樣品只進(jìn)行一次測(cè)定，其測(cè)定值可能比真值大也可能比真值小。它的出現(xiàn)決定了測(cè)定結(jié)果的精密度。隨機(jī)誤差是一種無規(guī)律性的誤差，在分析過程中總是存在的。其性質(zhì)是有時(shí)大，有時(shí)小，有時(shí)正，有時(shí)負(fù)，而產(chǎn)生的原因又無法控制。所以只有通過多次測(cè)量并取平均值，才可以減小隨機(jī)誤差。

具體來說，上述直讀光譜儀兩種誤差都是由人、機(jī)、料、法、環(huán)這五個(gè)環(huán)節(jié)帶來的。只有正確分析這五種因素才能減小隨機(jī)誤差和消除系統(tǒng)誤差。

直讀光譜儀誤差的第一因素——人員

如在分析過程中，操作人員沒有覺察出工作條件的變化；分析人員的習(xí)慣性偏向；讀數(shù)數(shù)經(jīng)常性偏高或偏低。這些會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)誤差。

隨機(jī)誤差產(chǎn)生的情況如，磨樣時(shí)用力不均出現(xiàn)紋路交叉；當(dāng)磨樣用力過大時(shí)，試樣過熱導(dǎo)致試樣表面氧化以及在冷卻過程中出現(xiàn)氣孔、裂紋或砂眼等缺陷。

該類誤差可以通過規(guī)范化操作、舉辦培訓(xùn)課程、經(jīng)常參加技術(shù)交流會(huì)等方式來改善。

直讀光譜儀誤差的第二因素——機(jī)器

比如鎢電極經(jīng)過多次重復(fù)放電以后，其頂尖長(zhǎng)時(shí)間不清掃，激發(fā)樣品淤積在其頂尖上導(dǎo)致放電距離間隙變短，其譜線強(qiáng)度值發(fā)生改變引入系統(tǒng)誤差。該誤差可通過每激次后，用刷子清理電極來解決。

電源電壓的波動(dòng)，分析間隙（即極距）及電極形狀在逐次分析過程中不一致等，導(dǎo)致光源工作不穩(wěn)定產(chǎn)生的光源問題，也會(huì)使測(cè)定結(jié)果精密度變差，引發(fā)隨機(jī)誤差。該誤差可以通過配置穩(wěn)壓電源來解決。

真空度不夠會(huì)降低分析靈敏度，特別是對(duì)≤200nm波長(zhǎng)更明顯，為此要求真空度達(dá)到小于8Pa。如果氬氣管道與電極架有污染物排不出去，或有漏氣時(shí)，分析結(jié)果變差。

直讀光譜儀誤差的第三因素——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、分析樣品和氬氣（料）

常見的系統(tǒng)誤差如，分析試樣和標(biāo)準(zhǔn)樣品的組織狀態(tài)不同，同樣的元素含量測(cè)定的結(jié)果也不相同，從而引入了系統(tǒng)誤差。最顯著的如鑄鐵，由于碳球墨化的影響，直接上機(jī)測(cè)定會(huì)導(dǎo)致碳數(shù)據(jù)失真。因此將鑄鐵樣品經(jīng)過白口化處理，將其調(diào)整到和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)一樣狀態(tài)，便可以解決該系統(tǒng)誤差。

氬氣由于其氧和水蒸氣等雜質(zhì)超標(biāo)導(dǎo)致純度不夠，激發(fā)斑點(diǎn)變白，氧在高溫下與硅、鋁、鉻等元素反應(yīng)形成不穩(wěn)定的擴(kuò)散放電，直接影響數(shù)據(jù)的精密度和準(zhǔn)確度，從而引入系統(tǒng)誤差。該誤差可以通過安裝氬氣凈化機(jī)來解決。

光譜標(biāo)樣在化學(xué)分析定值不準(zhǔn)確時(shí)帶來的系統(tǒng)誤差，可以通過將標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)重新定值來消除。

澆注狀態(tài)的鋼樣與經(jīng)過退火、淬火、回火、熱軋鍛壓狀態(tài)的鋼樣金相組織結(jié)構(gòu)不相同時(shí)，測(cè)出的數(shù)據(jù)也會(huì)有所差別還有未知元素譜線的重疊干擾，如熔煉過程中加人脫氧劑、除硫磷劑時(shí)，混入未知合金元素而引入系統(tǒng)誤差。要消除該系統(tǒng)誤差必須嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)樣品制備規(guī)定制樣，需要采用化學(xué)分析方法分析并多次校對(duì)結(jié)果。若標(biāo)樣和試樣中的第三元素的含量和化學(xué)組成不完全相同，亦有可能引起基體和分析線的強(qiáng)度改變，從而引入誤差。

帶來隨機(jī)誤差的因素有樣品在冶煉過程中帶人的夾雜物或產(chǎn)生偏析；插鋁脫氧造成樣品元素分布不均勻在加工過程中帶人的砂?；蛘弑粶y(cè)元素和磨樣紋路交叉、試樣研磨過熱、試樣磨面放置時(shí)間太長(zhǎng)和壓上指紋等。試樣在取樣冷卻過程中的缺陷、氣孔、裂紋、砂眼造成激發(fā)室氣體純度不高。樣品表面平整度差或樣品厚度較薄被擊穿，在分析過程中都會(huì)導(dǎo)致漏氣，直接影響激發(fā)光室氣壓下降，激發(fā)斑點(diǎn)變白。對(duì)高鎳鉻鋼磨樣時(shí)，要使用新砂輪片磨樣。上述缺陷的出現(xiàn)會(huì)導(dǎo)致測(cè)定結(jié)果精密度變差，引起隨機(jī)誤差。

直讀光譜儀誤差的第四因素——方法

該類誤差有工作曲線選擇不正確（比如用低合金鋼工作曲線測(cè)量高合金鋼中的元素含量）所帶來的系統(tǒng)誤差。采用控樣法測(cè)定樣品時(shí)，控樣標(biāo)準(zhǔn)值輸入錯(cuò)誤所引起的系統(tǒng)誤差。

直讀光譜儀誤差的第五因素——環(huán)境

入射透鏡受到灰塵污染，其部分入射光被反射未進(jìn)入分光系統(tǒng)，導(dǎo)致光譜譜線強(qiáng)度值下降，使測(cè)定數(shù)據(jù)偏低，帶來系統(tǒng)誤差。該誤差可以通過定期清洗透鏡來解決。

入射或者出射狹縫因受外界震蕩而發(fā)生位移，導(dǎo)致復(fù)合光未完全進(jìn)入分光系統(tǒng)，產(chǎn)生系統(tǒng)誤差。該誤差通過全局校準(zhǔn)或定期描跡來解決。

產(chǎn)生隨機(jī)誤差的因素如：室溫的波動(dòng)太大或濕度過大引起積分電容漏電；濕度過小因積灰產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致電路板的波動(dòng)。這些環(huán)境因素引發(fā)的問題同樣會(huì)使測(cè)定結(jié)果精密度變差。

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