首先,激光掃描顯微鏡與掃描電子顯微鏡相似;
其次,激光掃描顯微鏡是用激光束工作,而掃描電子顯微鏡是采用電子束工作的;激光掃描顯微鏡還采用了自動聚焦裝置。
激光掃描顯微鏡主要工作參數(shù)工作距離:1~45mm;測量范圍:0. 005~lmm;最高垂直分辨率:lnm,可用于樣品的微觀形貌觀察,表面結(jié)構(gòu)和粗糙度測量、振動和形變的觀察.
首先,激光掃描顯微鏡與掃描電子顯微鏡相似;
其次,激光掃描顯微鏡是用激光束工作,而掃描電子顯微鏡是采用電子束工作的;激光掃描顯微鏡還采用了自動聚焦裝置。
激光掃描顯微鏡主要工作參數(shù)工作距離:1~45mm;測量范圍:0. 005~lmm;最高垂直分辨率:lnm,可用于樣品的微觀形貌觀察,表面結(jié)構(gòu)和粗糙度測量、振動和形變的觀察.