工件測(cè)量上的誤差以及光學(xué)效率與品質(zhì)的降低

量測(cè)上的誤差
測(cè)量上的誤差主要是由人為的失誤，以及量測(cè)儀器本身的限制所產(chǎn)
生，容易造成光學(xué)效率與品質(zhì)的降低。

（一）待測(cè)物表面不清潔
經(jīng)過(guò)準(zhǔn)分子激光加工過(guò)后，元件表面上都會(huì)有加工所殘留的殘
渣，故工件上油脂、殘?jiān)?、塵埃等皆容易造成量測(cè)上的誤差，也容
易造成光的散射，使量測(cè)上的誤差因此產(chǎn)生。而清洗是必要的，首
先用去離子水（DI water）沖洗元件表面，再放入超音波震盪器內(nèi)，
加以震盪，最后以氮?dú)獯登?br>（二）量測(cè)儀器本身的限制
各種光學(xué)儀器皆具有固定的誤差值，所以當(dāng)光入射各各光學(xué)儀
器均會(huì)造成量測(cè)上誤差的產(chǎn)生，而解決之方法唯有盡量縮短光路，
并注意各種光學(xué)儀器的誤差值，如果誤差值過(guò)大就要避免使用。另
外在薄膜測(cè)厚儀也有其本身探針的限制，其探針針頭為 1μm，所以
會(huì)有其誤差的存在，另外在光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、顯微干涉儀
也有其本身儀器的限制。
（三）影像擷取的誤差
在量測(cè)上，當(dāng)影像在擷取時(shí)，一張影像卡的好壞既在此有分別，
任何影像擷取卡皆有一固定值得損失，我們電腦分析程式是以
LabVIEV 軟體以及 Matlab 軟體所撰寫，皆以 LabVIEV 所提供的影像
擷取卡進(jìn)行影像擷取分析，當(dāng)然也無(wú)法避免此損失，而 CCD Camera
也有其解析度的限制，其解析誤差也會(huì)造成量測(cè)上誤差的產(chǎn)生