表面 儀 測(cè)有什么樣的特點(diǎn)-測(cè)量工具顯微鏡

表面 儀 測(cè)特性
接觸式表面 儀的 測(cè)原 是以電腦控制平臺(tái)的左右移動(dòng)，藉由固定在探針臂上的探
針掃描物體表面，透過(guò)Linear variable differential transformer (LVDT)將探針上下的移動(dòng)轉(zhuǎn)換成
為表面 的軌跡。以KLA-Tencor Alpha-Step IQ型號(hào)為 ，掃描長(zhǎng) 可至10 mm，其縱向
測(cè)最深可至2 mm，當(dāng)深 測(cè)范圍在20 m時(shí)，垂直解析 可達(dá)0.012 。

一般探針為圓錐 ，頂部為圓球，探針半徑與頂角的選擇很重要，標(biāo)準(zhǔn)Tencor Alpha-Step
采用半徑5 m頂角60°的探針。當(dāng)應(yīng)用于評(píng)估導(dǎo)光板微特征成形，需 測(cè)微結(jié)構(gòu)的寬 、深
與斜面角 。探針半徑或頂角影響到特征尺寸的辨 ，探針半徑較大時(shí)，在掃瞄斷差時(shí)，
軌跡因探針頂部圓角的關(guān)系相對(duì)起伏較小， 判 其特征寬 。 要 測(cè)微特征的斜面角
β，則探針頂角θ的選擇必須滿足，