精密零件測(cè)量顯微鏡- 測(cè)的最小特征寬 是3.7 μm

掃瞄軌跡角 γ 即是微特征的斜面角 β。否則所掃瞄出的軌跡角 將會(huì)是探針角錐斜面角
特征寬 必須大于探針圓球橫截面寬時(shí)，即特征寬 W，探針半徑R與頂角θ需滿足(2)，
才可 測(cè)特征寬 ，其辨 誤差將受探針半徑影響。受限于探針頂部半徑R與特征寬 W，此
時(shí)所能掃瞄的最大特征深 如，因此 測(cè)V溝時(shí)，探針將無法下 至V溝尖端。本研究所
使用的為半徑2 μm頂角45°的探針，

依符合推測(cè)可 測(cè)的最小特征寬 是3.7 μm，而所能 測(cè)的最大特征角 是67.5°?？?塑膠成形限制，
一般V溝寬 會(huì)大于10 μm 但在 測(cè)導(dǎo)光
板V溝時(shí)，除非在V溝底部采用截頂?shù)脑O(shè)計(jì)，且深 小于式的值，否則仍無法正確 出成形轉(zhuǎn)寫高