準(zhǔn)分子激光之加工精密測(cè)量工具顯微鏡-光學(xué)儀器廠

準(zhǔn)分子激光之加工機(jī)制

準(zhǔn)分子激光加工機(jī)制為光分解挖除（photo ablation），即工件
材料吸收短波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子激光后，將材料內(nèi)之鍵結(jié)直接打斷而破壞，
激光照射區(qū)域的材料經(jīng)斷鍵后會(huì)產(chǎn)生壓力急速上升，并促使材料以
微小爆炸的方式排出，而達(dá)到加工的目的，

光罩投影式準(zhǔn)分子激光加工已成功地制造
出 2.5D 的微結(jié)構(gòu)，如噴墨印表機(jī)噴嘴、微齒輪、微繞射式光學(xué)元件
等。所以準(zhǔn)分子激光在 2.5D 微結(jié)構(gòu)的制造技術(shù)也發(fā)展成熟。但是此
技術(shù)的瓶頸僅在于微結(jié)構(gòu)側(cè)壁（side wall）的垂直度，

此方面也因?yàn)槭芟抻跍?zhǔn)分子激光波長(zhǎng)比 X-ray 波長(zhǎng)還要長(zhǎng)，且焦深（depth of
focus）比較小的緣故，所以無法像 X-ray LIGA 制造出較高深寬比
的微結(jié)構(gòu)。但在另一方面，可由控制加工次數(shù)（累積激光光照射能
量）與工件位置達(dá)成在特定位置產(chǎn)生所需要的加工深度，而得到所
要的形狀。此種可加工曲面的特點(diǎn)反而是可制造出較高深寬比的微
結(jié)構(gòu) X-ray LIGA 所無法達(dá)成的，因此準(zhǔn)分子激光在三次元形狀加
工應(yīng)用的相關(guān)研究也日趨重要