搭配電子顯微鏡可對材料量測其機(jī)械性質(zhì)

材料可靠度的角度來看，機(jī)械性質(zhì)扮演一個(gè)重要且根本的角色，任何材料在實(shí)際應(yīng)用之前，均須先經(jīng)機(jī)械性質(zhì)驗(yàn)證，
就連先進(jìn)半導(dǎo)體制程模組之開發(fā)以及生物工程科技之推展，也都必須審視其重要性。尤其當(dāng)材料結(jié)構(gòu)趨近納米尺度時(shí)，
機(jī)械性質(zhì)將可能發(fā)生很大之改變，影響材料可靠度甚巨；

因此，材料于納米尺度下之機(jī)械性質(zhì)分析與變形行為觀察，由于材料結(jié)構(gòu)納米化，傳統(tǒng)工具已無法有效量測其機(jī)械性質(zhì)，

而必須仰賴納米機(jī)械測試技術(shù)加以分析。近年來，納米壓痕測試廣泛應(yīng)用于薄膜材料、納米材料、
生物組織等納米結(jié)構(gòu)之機(jī)械性質(zhì)量測，

甚至可搭配電子顯微鏡進(jìn)行納米尺度變形機(jī)制之同步臨場分析，

對于材料之開發(fā)研究與可靠度評估具有相當(dāng)實(shí)際之助益。

電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)，在做有關(guān)電子顯微鏡時(shí)，要拍很高倍率照片的時(shí)候，即使是開門、
走路甚至是冷氣出風(fēng)口的風(fēng)流動都會影響實(shí)驗(yàn)。