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精密光學(xué)機(jī)械-在顯微鏡下的微移高精度測量零件
2.5軸顯微操縱系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與制作系統(tǒng)
具有顯微操縱系統(tǒng)基本功能，能設(shè)定存在顯微鏡下的微動(dòng)畫線結(jié)構(gòu)。劃線精度在0.1mm以下，做
可以做實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
(1) 設(shè)備實(shí)驗(yàn)設(shè)備的架構(gòu)
(2) 顯微鏡的操作及校驗(yàn)
(3) X-Y微步進(jìn)平臺(tái)的架構(gòu)
