接觸式和非接觸式掃描電子顯微鏡簡介-解析度高低
原子力顯微鏡的操作模式可分為
1. 接觸式(contact mode)
此模式的探針和樣品的作用力是原子間的排斥力,這是最早被發(fā)現(xiàn)出來的,
由于排斥力反應(yīng)的距離約在數(shù)埃(angstrom, )之間,且對距離非常敏感,
所以可以得到很高的解析度。不過由于接觸距離極接近于樣品,過大的作用力會損害樣品,由其是軟性材質(zhì)影響更
大,所以選擇適當(dāng)?shù)淖饔昧Ρ愫苤匾?/p>
2. 非接觸式(non-contact mode)
為了解決接觸式原子力顯微鏡可能損壞樣品的缺點(diǎn),便有非接觸式原子力顯微鏡發(fā)展出來,
這是利用探針和樣品間長距離的吸引力-凡得瓦力來運(yùn)作,其反應(yīng)距離約在數(shù)十埃左右。由于探針和樣品沒有
接觸,因此沒有破壞樣品的顧慮。但因凡得瓦爾力對距離的變化非常小,
所以必須使用振動及調(diào)變的技術(shù)(Vibration and Modulation Techniques)
來改善訊號對雜訊的比例(signal / noise),其解析度并無法像接觸式原子力顯微鏡來得高