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一般光學(xué)顯微鏡配合對(duì)焦尋形原理測(cè)量三維表面輪廓
利用一般光學(xué)顯微鏡配合對(duì)焦尋形(Shape from Focus,SFF)原理,并結(jié)合最小相鄰反捲積
(nearestneighbor deconvolution,NND)技術(shù)即可重建出待測(cè)物的三維表面輪廓。
但在量測(cè)待測(cè)物過程中,若因待測(cè)物的表面資訊不足,
則會(huì)導(dǎo)致反射光訊號(hào)弱,造成訊噪比(Signal-to-Noise Ratio)差,則待測(cè)物的三維表面重建雜訊較多,
因此在擷取影像時(shí),CCD 會(huì)重複擷取影像再取其平均值以改善訊噪比,由于這個(gè)重複擷取影像過程,
會(huì)使整體量測(cè)的時(shí)間增長(zhǎng),為了使量測(cè)時(shí)間縮短,
可選用較高訊噪比的 CCD攝影機(jī),如此一來,就可兼顧訊噪比與整體系統(tǒng)量測(cè)的時(shí)間