三維反射式檢測顯微鏡M-3D7-幾何光學(xué)原理

http://www.sgaaa.com/cp/tishixianweijingm-3d7.htm

產(chǎn)品信息

基于幾何光學(xué)、臨界角法之原理，衍生出一種非掃描非干涉的三維反射式光學(xué)顯微鏡，
利用物體表面上的高度差所造成的反射光角度改變，再經(jīng)由平行四邊形稜鏡將此角度改變轉(zhuǎn)換成靈敏的出射光強(qiáng)度改變。
為考慮稜鏡反射率對高度轉(zhuǎn)換之非線性誤差造成量測表面高度的誤差而進(jìn)行補(bǔ)償之研究，可將此非線性誤差減至最低，
使得所得之三維影像更接近真實(shí)。

此三維反射式光學(xué)顯微鏡，其放大倍率可達(dá)到兩百五十倍以上，可提供次微米的量測，并擁有奈米級的縱向解析度，
可同時量測二維與三維之影像，量測上無論是粗糙之表面抑或是光滑表面上的小缺陷皆能快速被檢測出，
量測速度上因?yàn)槭褂肅CD擷取影像，如拍照一般，所以可做為大面積快速之即時量測，十分創(chuàng)新有趣。