檢測光學顯微鏡物鏡透鏡可以使用好幾種光路結構

  使用這種干涉儀地檢測顯微物鏡。所使用的光路結構從本質上說
與檢測透鏡使用的是相同的。不過一般說來，不使用凸面反射鏡，因為顯微物鏡的焦距短。

由于顯微鏡有時候是在有限筒長下工作，因此加人了一個負透鏡來改變準直光，
同時模擬一個16cm遠處的光源。這個透鏡的球差必須校正，但是不需要校正其色差。

檢測物鏡可以使用好幾種光路結構，最常用的是曲率中心與物鏡焦點垂合的球面反射鏡
那種結構。一個比半球稍厚一點的實心球面反射鏡可以用來模擬存在防護玻璃罩的情況。
  還可以在物鏡焦點上放置一塊平面反射鏡，但是在這種情況下波前會旋轉180°。因此
要么使用激光光源。要么在另一個臂上將波前旋轉一下。要實現(xiàn)波前的旋轉可以通過一個三
角棱鏡來實現(xiàn)，或者使用另一個帶有相同乎面反射鏡的顯微物鏡的系統(tǒng)來實現(xiàn)。應該指出的
是，在這種情況下，出現(xiàn)的干涉圖樣顯示了兩個物鏡的像差之差。
  第四個光路結構是由兩個相對放置的顯微物鏡組成的。在這種情況下，干涉圖像顯示
兩個物鏡像差的和。但是.當被檢測的像差比較大，或者針孔比較大時，

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