測(cè)量表面輪廓的常用方法是機(jī)械接觸式儀-測(cè)量顯微鏡

  測(cè)量表面輪廓的通常方法是機(jī)械接觸式儀器。廣泛使用和最熟悉的儀器是
上海光學(xué)儀器一廠生產(chǎn)的表面輪廓儀。

在工業(yè)界就成為一種表面輪廓標(biāo)準(zhǔn)。表而輪廓儀是一種設(shè)計(jì)有非常
細(xì)探針的接觸式傳感器，該探針與待測(cè)表面接觸.沿著一條線測(cè)員出表面輪廓，
使探針掃描過(guò)整個(gè)待測(cè)表面就完成了測(cè)量。

4. 10給出了利用光學(xué)計(jì)量很難測(cè)量的非球面的例子，這類表面在最近設(shè)計(jì)的手
機(jī)相機(jī)的照相模塊中相當(dāng)普通。

  表面輪廓測(cè)量?jī)x系列中一種新的設(shè)備是PG1 BLU.該儀器是為測(cè)量藍(lán)光
及手機(jī)相機(jī)中極高數(shù)值孔徑透鏡而專門研發(fā)，與PGI 1240間的區(qū)別在于:
儀器相對(duì)于待測(cè)零件是運(yùn)動(dòng)的，

因此，實(shí)際探頭可以很好地位于其測(cè)量范圍和梢度范舊以內(nèi)，而復(fù)雜軟件
組合處理探頭數(shù)據(jù)和連續(xù)表面(非球面)的機(jī)械掃描數(shù)據(jù).

另外，精密的機(jī)械運(yùn)動(dòng)與高精度探頭相組合，局部給出所需要的分辨率。

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