應(yīng)用表面輪廓儀很容易測量陡峭的斜率表面-測量顯微鏡

  測量這類表面的問題之一是表面的曲率變化和相當(dāng)陡峭的斜率，所以，
光學(xué)輪廓儀必須有相當(dāng)大的測量范圍，而表面輪廓儀很容易測量這類表面。不同
儀器的橫向(x)掃描范圍可以達(dá)到200mm，利用最新規(guī)格PG 1240儀器

  z方向的掃描范圍是12. 5mm，x方向的抽樣率是0.125 -1.0μm

(取決于掃描長度)，不準(zhǔn)確度是0.35m+0. 03X掃描長度，在分辨率0.8nm時(shí)的高度
可重要性好于 0. 04μm，可以測量的最大斜率范圍在士35°。與表面輪廓測量儀
一樣，

若使用其他類型儀器，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行正確標(biāo)定是關(guān)鍵。

由于是一種接觸式輪娜測量儀器，所以，利用該技術(shù)可以測量模芯和模壓光學(xué)
元件兩種零件。

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