表面輪廓儀的主要缺點是測量速度慢-工具顯微鏡

  表面輪廓儀的主要缺點是測量速度慢以及測員時待測表面與探頭接觸。盡管
施加于探針上的力通常是毫牛頓數(shù)量級，但測量軌跡明顯可見。對于注塑模壓成
型透鏡.由于模壓過程可以生產(chǎn)許多透鏡，所以，一般不是問題，然而，計量模
壓光學(xué)元件的模芯則要求更為嚴(yán)格。

對模芯輪廓完成機(jī)械測量后的強(qiáng)度分布，對角線方向有個十字又.探頭軌跡清晰可見。
雖然其絕對高度只有幾納米.但仍有明顯痕跡。

  使用接觸式探頭的另一問題是非旋轉(zhuǎn)對稱表面的測量。接觸式輪廓測量對表
面進(jìn)行二維掃描。如果需要知道表面的三維形狀，就必須將不同的輪廓圖組合在
一起。

  盡竹有這種缺點，但迄今為止表面輪廓儀一類儀器仍然是測量光學(xué)表面特性
(其他任何方式都無法完成輪廓測量)的標(biāo)準(zhǔn)。對所有的其他表面，若提供足夠
的測量時間，

表面輪廓儀都是一種非常有用的儀器。在有限量樣品和最初工裝的工藝控制過程中
也是一種非常有用的計量儀器選擇。對于高生產(chǎn)率應(yīng)用場合，最好首先考慮上述的
其他儀器。

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