工具顯微鏡的測(cè)量精度大致在3微米左右-測(cè)量光學(xué)儀器

最近工具顯微鏡的性能，在以下幾點(diǎn)有所改進(jìn)，或有明顯的改進(jìn)趨勢(shì)。

(1)測(cè)量精度的提高:

探討長(zhǎng)度的測(cè)量精度，從過去的基準(zhǔn)精度一般因?yàn)闈M足不了阿貝原理，
精度因被測(cè)表面高度而有變化，所以普通以工作臺(tái)載物臺(tái)表面的精度
作為基準(zhǔn)，把它叫作基準(zhǔn)精度)。

5微米大致提高到3微米，測(cè)量的最小刻度也按照精度從過去的10微米降
到5微米左右。

(2)測(cè)量范圍的擴(kuò)大:
過去工具顯微鏡十字運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的移動(dòng)量，一般是:大型顯微鏡左右移
動(dòng)量為150毫米，前后移動(dòng)量為50毫米，小型的移動(dòng)量，一般最大的左
右移動(dòng)量為75毫米，前后為25毫米左右。

它的移動(dòng)范圍已被擴(kuò)大，測(cè)量的尺寸范圍也已擴(kuò)大。

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