成果名稱

微納級(jí)半導(dǎo)體光/電特性三維檢測(cè)儀

單位名稱

高動(dòng)態(tài)導(dǎo)航技術(shù)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

聯(lián)系人

付國(guó)棟

聯(lián)系郵箱

fuguodd@163.com

成果成熟度

□正在研發(fā) ? ???□已有樣機(jī)? ?□通過(guò)小試? ?□通過(guò)中試? ?√可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓?? ?√技術(shù)入股 ???√合作開(kāi)發(fā)?? □其他

成果簡(jiǎn)介：?

?

? ? 半導(dǎo)體光電探測(cè)器晶圓向大直徑、高密度發(fā)展，檢測(cè)要求呈多樣化趨勢(shì)，迫切需求大行程（≥300mm）、高定位精度（0.5μm）、能夠提供高/低溫、光/暗等環(huán)境的光/電特性檢測(cè)儀器。針對(duì)上述需求，突破高精度直驅(qū)控制、微弱信號(hào)提取及處理、低溫?zé)o霜測(cè)試控制、單光子信號(hào)源等關(guān)鍵技術(shù)，形成大行程、高精度半導(dǎo)體光/電特性檢測(cè)儀及三維平臺(tái)精準(zhǔn)定位技術(shù)，在大面陣、高精度定位，長(zhǎng)時(shí)高可靠控制，微納級(jí)信號(hào)檢測(cè)與處理，高精度低溫?zé)o霜測(cè)試等方面達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。主要性能指標(biāo)：（1）軸系：XYZR四軸（2）行程：300mm；（3）位移精度：1μm（4）溫度范圍：-60℃～200℃。成果已在核高基項(xiàng)目中獲得應(yīng)用。

應(yīng)用前景：
? ? 成果主要用于半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)和生產(chǎn)過(guò)程中的IV/CV/脈沖、暗電流、暗計(jì)數(shù)、單光子探測(cè)效率、溫度特性、噪聲等效功率測(cè)試及數(shù)據(jù)采集、分析。
? ? 成果適用于開(kāi)展半導(dǎo)體晶圓及芯片設(shè)計(jì)、生產(chǎn)的高校、科研院所及企業(yè)。
? ? 預(yù)計(jì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)年需求量在1800～2000臺(tái)，市場(chǎng)規(guī)模約30億元。

知識(shí)產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
? ? 具有核心技術(shù)，受理發(fā)明專利2項(xiàng)：
? ?（1）專利名稱：一種三維多曲面融合敏感結(jié)構(gòu)微納振幅電容檢測(cè)系統(tǒng)（申請(qǐng)?zhí)枺篊N201410512345.5）；
? ?（2）專利名稱：一種基于模糊控制的小型數(shù)字舵機(jī)系統(tǒng)（申請(qǐng)?zhí)枺篊N201410233762.6）。