對AFM 懸梁芯片的操作
原子力顯微鏡((AFM )中的懸梁硅尖主要以納米級的精度
掃描物體表面,產(chǎn)生微觀三維圖形。在制造AFM 時,必須利用刀
片手工對懸梁芯片進行切割,
然后夾持切割好的懸梁,定位并粘連在AFM 頂部。對于這些
操作,即使是熟練的操作者,成功率也只有70%.如果采用有力反
饋的微操作系統(tǒng),即使是不熟練的操作者,成功率也可以達到100%.
具有硅尖的懸梁不僅用在AFM 中,也可用在機械或化學(xué)微傳感器
中。
商用的懸梁一般做在一個圓片上或連接在一個框架上,對于
圓片上的懸梁,雖然價格比較便宜,但需要將懸梁從圓片上切下,
然后粘連在AFM 的頂部支架上。對懸梁的操作是十分困難和
費時的,成功率取決于操作者的熟練程度。
兩個操作(從圓片上切下懸梁和操作它精確定位)都需要小
心進行,避免毀壞單個懸梁和整個圓片。同時,在切割懸梁時會
產(chǎn)生小的碎片,這些碎片遺留在懸梁上,將影響AFM 的工作。
另一方面,懸梁尺寸非常小,操作起來非常困難。
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