圖像顯微鏡能夠自動聚焦,配有CCD和顯微圖像軟件
對于微裝配與微操作,兩種定位方式是必須的,一個是平臺
的垂直運(yùn)動,以便顯微鏡能夠自動聚焦,另一個是平臺的水平方
向的定位運(yùn)動,以便對微器件進(jìn)行操作。高的放大倍數(shù)可以獲得
微器件的精確數(shù)據(jù),但是低放大倍數(shù)可以獲得大的視場,以便觀
察整個工作空間。使用不同的放大倍數(shù)可以進(jìn)行全局定位和局部
高精度操作。
圖像系統(tǒng)包括一個倒置顯微鏡、一個CCD 攝像機(jī)、一個PCI
圖像捕捉卡和一個主控計(jì)算機(jī)。倒置顯微鏡使用400 倍的物鏡,
CCD 攝像頭安裝在顯微鏡上,以便將顯微圖像通過圖像捕捉卡顯
示在計(jì)算機(jī)屏幕上。圖像的特征跟蹤采用半自動遙操作和自動化
注射,跟蹤算法運(yùn)行在一個主控計(jì)算機(jī)上。
在不同放大倍數(shù)下的圖像,如果圖像失焦,則在垂直方向移
動顯微鏡下的運(yùn)動平臺,從而使圖像聚焦,得到清晰的圖像。在
低放大倍數(shù)情況下,選擇一個區(qū)域,使用自動聚焦算法獲得聚焦
圖像,然后,在高放大倍數(shù)情況下,對該區(qū)域運(yùn)行聚焦算法,獲
得高放大倍數(shù)的聚焦圖像,從而獲得高精度的位置信息。
(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.sgaaa.com)
合作站點(diǎn):http://www.xianweijing.org/