測(cè)量工件表面粗糙度和幾何圖形輪廓測(cè)量?jī)x器

  測(cè)量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中，
對(duì)于簡(jiǎn)單的表面已得到了和機(jī)械測(cè)量相一致的結(jié)果，下一步是要
修正更復(fù)雜表面所得到的結(jié)果，如車削、磨削和研磨的表面粗糙
度，完成了這一點(diǎn)，儀器量程便從現(xiàn)在的10微米或更大，這將極
大地提高它的使用性能。

  顯微鏡還存在由于儀器目前的結(jié)構(gòu)所強(qiáng)加的某些限制，例如
它不能用于測(cè)量小孔且需移動(dòng)工件，末琮的工作計(jì)劃是探索更合
理的結(jié)構(gòu)以克服這種限制，例如用激光束掃描工件表面。

  與機(jī)械式儀器相比，離子激光裝置的價(jià)值較高，使其受到進(jìn)
一步的限制，但這究竟只是一方面的觀點(diǎn)，在那些接觸法不合適
的場(chǎng)合，這種類型的儀器將會(huì)有很多用途，同時(shí)還可用于標(biāo)準(zhǔn)實(shí)
驗(yàn)室代替機(jī)械式儀器。

  研究顯微結(jié)構(gòu)時(shí)，通常將客體放大數(shù)百倍至千倍，即其觀察
細(xì)度為微米數(shù)量級(jí)；而研究微觀結(jié)構(gòu)時(shí)放大倍數(shù)可達(dá)數(shù)百萬保，
其分析細(xì)度可達(dá)數(shù)埃。故顯微結(jié)構(gòu)又稱關(guān)微觀結(jié)構(gòu)。

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